• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Ар21-2840
    621.384/Ч-578
    Чжо Зин Пьо. Формирование пленок дисульфида молибдена для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней : 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Чжо Зин Пьо ; Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - Москва : [б. и.], 2021. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (12 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.09621.384-022.532-03(043)

    Кл.слова (ненормированные): наноэлектронные устройства -- материалы -- полупроводниковые материалы -- ультратонкие пленки -- осаждение
    Доп. точки доступа:
    Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
    Экз-ры полностью Ар21-2840
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
    Свободны: ХРЦ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽