• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Ар21-1816
    679/К 211
    Каракулов, Руслан Александрович. Повышение герметичности и надёжности спаев алмаз-металл с помощью многослойной тонкоплёночной структуры : 05.27.06 - Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Каракулов Руслан Александрович ; Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет) (МГТУ им. Н. Э. Баумана). - Москва : [б. и.], 2021. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (7 назв.). - 70 экз. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.29.37679.826(043)
    621.385.6-047.84(043)

    Кл.слова (ненормированные): электронные приборы свч -- производство -- искусственный алмаз -- cvd-алмаз -- металлизация -- вакуумное плазменное осаждение -- многослойные покрытия -- термическая обработка
    Доп. точки доступа:
    Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
    Экз-ры полностью Ар21-1816
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
    Свободны: ХРЦ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽