• ВХОД
  •  

    Полное описание

    06935000665
    Установка для химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении с использованием вертикального диффузионного реактора / ВЦП. - [Б. м. : б. и.]. - 16 c. : ил. - Япон.яз. - Пер. ст. / Е. Мидзусина из журн.: // Дэнси дзайре. - 1989. - Vol. 28, N 3. - P. 37-42. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ 47.33

    Рубрики:
    Полупроводниковые приборы

    Кл.слова (ненормированные): осаждение химическое -- реактор диффузионный -- автоматизация -- кассеты -- лодочки -- пластины
    Доп. точки доступа:
    Мидзусина, Е.
    Экз-ры полностью 06935000665
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)
    Копия: мкф.



    Заказ фрагмента документа ₽