Полное описание

Ар20-4970
681.7/К 560
Ковалев, Владимир Витальевич. Светодиодный эллипсометр со статичной схемой измерения оптических констант и толщин тонких пленок : 05.11.16 - Информационно-измерительные и управляющие системы : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Ковалев Владимир Витальевич. - Москва : [б. и.], 2020. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23 (12 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
90.27.37	681.785.35(043)
29.19.16	539.216.2(043)

Кл.слова (ненормированные): информационно-измерительные системы -- технико-экономические характеристики -- многослойные тонкопленочные структуры -- аппаратно-программные средства -- математическое моделирование
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)
Обложка

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽