Полное описание
>
NANOLITHOGRAPHY: a borderland between STM,EB,IB,and X-ray lithographies : proc.of the NATO advanced research workshop on NANOLITHOGRAPHY...Roma,Apr.6-8,1993 / ed. M. Gentili. - Dordrecht [etc.] : Kluwer, 1994. - VIII,215 p. p. : ill. - (NATO advanced study institutes series. Ser.E, Applied sciences ; vol.264). - ISBN 0-7923-2794-2 : 137000 р. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей.Указ.:с.213,215
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.76-047.84:776(062) |
Рубрики:
Электронолитография -- Съезды и конференции
Доп. точки доступа:
Gentili, M.\ed.\
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 3 : ПНТ (1), (2)
Свободны: ПНТ (1), (2)
Копия:
Optical phenomena in semiconductor structures of reduced dimensions : Proc.of the NATO advanced research workshop on frontiers of optical phenomena in semiconductor structures of reduced dimensions,Yontville(Ca),July 27-31,1992 / Ed.: D. J. Lockwood, A. Pinczuk, 1993. - X,454 p. p. - Текст : непосредственный.new superconducting electronics : Proc.of the NATO advanced study inst.on the new superconducting electronics,Waterville Valley(NH),Aug.9-20,1992 / ed.: H. Weinstock, R. W. Ralston, 1993. - IX,457 p. p. - Текст : непосредственный. Uses of immobilized biological compounds : Proc.of the NATO advanced research workshop on..,Brixen,May 9-14,1993 / Ed.: G. G. Guilbault, M. Mascini, 1993. - XXIII,577 p. p. - Текст : непосредственный.New directions in research with third-generation soft X-ray synchrotron radiation sources : Proc.of the NATO advanced study inst.on..,Maratea,June 28-July 10,1992 / ed.: A. S. Schlachter, F. J. Wuilleumier, 1994. - IX,397 p. p. - Текст : непосредственный.Mechanical properties and deformation behavior of materials having ultra-fine microstructures : Proc.of the NATO advanced study inst.on mechanical properties and deformation behavior of materials having ultra-fine microstructures,June 28-July 10 1992,Porto Novo / Ed. M. Nastasi, 1993. - XIV,624 p. p. - Текст : непосредственный.behavior of systems in the space environment : Proc.of the NATO advanced study inst.on the behavior of systems in the space environment,July 7-19 1991,Pitlochry,Scotland / ed. R. N. DeWitt, 1993. - XII,962 p. p. - Текст : непосредственный. Fundamentals and standards in hardware description lanquages : Proc.of the NATO advanced study inst.on fundamentals and standards in hardware description languages,Apr.16-26 1993,Il Ciocco,Barga,Italy / ed. J. P. Mermet, 1993. - XII,466 p. p. - Текст : непосредственный.Linear algebra for large scale and real-time applications : Proc.of the NATO advanced study inst.on linear algebra for large scale and real-time applications,Aug.3-14 1992,Leuven / Ed. M. S. Moonen, 1993. - 437 p. - Текст : непосредственный.interfacial interactions in polymeric composites : Proc.of the NATO advanced study inst.on the interfacial interactions in polymeric composites Antalya,15-26 June 1992 / ed.by G. Akovali, 1993. - 455 p. - Текст : непосредственный. Multicomponent and multilayered thin films for advanced microtechnologies: techniques, fundamentals and devices : Proc.of the NATO advanced study inst.on multicomponent and multilayered.. BadWindsheim, Sept.21-Oct.2,1992 / сост.ed. O. Auciello, сост.ed. J. Engemann, 1993. - 633 p. - Текст : непосредственный.Nanosources and manipulation of atoms under high fields and temperatures: applications : Proc.of the NATO advanced research workshop on manipulations of atoms.. Lyon,6-10 July 1992 / сост.ed.by V. T. Binh, 1993. - 324 p. - Текст : непосредственный.Phonons in semiconductor nanostructures : Proc.of the NATO advanced research workshop on phonons in semiconductor nanostructures, St.Feliu de Guixols, Sept.15-18, 1992 / сост.ed. J. P. Leburton, 1993. - 509 p. - Текст : непосредственный.Stochastic hydrology and its use in water resources systems simulation and optimization : Proc.of the NATO advanced study inst.on stochastic hydrology.. Peniscola,18-29 Sept.1989 / сост.ed. J. B. Marco, 1993. - 483 p. - Текст : непосредственный.Laser applications for mechanical industry : Proc.of the NATO advanced study inst.on laser applications for mechanical industry Erice,4-16 Apr.,1992 / сост.ed. S. Martellucci, 1993. - 436 p. - Текст : непосредственный.Atomic and nanometer-scale modification of materials: fundamentals and applications : Proc.of the NATO advanced research workshop on atomic and nanometer-scale.. Ventura(Ca),Aug.16-21,1992 / сост.ed. P. Avouris, 1993. - 346 p. - Текст : непосредственный.Computations for the nano-scale : Proc.of theNATO advanced research workshop on computations for the nano-scale Aspet,Oct.12-16, 1992 / сост.ed. P. E. Blochl, 1993. - 291 p. - Текст : непосредственный.Thermal shock and thermal fatigue behavior of advanced ceramics : Proc.of the NATO advanced research workshop on thermal fatigue behavior of advanced ceramics Munich,Nov.8-13,1992 / сост.ed. G. A. Schneider, сост.ed. G. Petzow, 1993. - 588 p. - Текст : непосредственный.Near field optics : Proc.of the NATO advanced research workshop on near field optics, Arc-et-Senans,Oct.26-28,1992 / сост.ed. D. W. Pohl, сост.ed. D. Courjon, 1993. - 418 p. - Текст : непосредственный.Semiconductor interfaces at the sub-nanometer scale : Proc.of the NATO advaced research workshop on physical properties of semiconductor interfaces at the sub-nanometer scale Riva del Garda,31 Aug.-2 Sept.1992 / сост.ed. H. W.M. Salemink, сост.ed. M. D. Pashley, 1993. - 256 p. - Текст : непосредственный.Intrinsically conducting polymers: an emerging technology : Proc.of the NATO advanced research workshop on applications of intrinsically conducting polymers Burlington(Vt) Oct.12-15,1992 / ed. M. Aldissi, 1993. - 223 p. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыХимическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений Tl2CfBa2Cu20y / ВЦП ГР. - 9 с. - Текст : непосредственный.Применение керамических материалов для корпусирования приборов микроэлектроники / ВЦП. - 25 с. - Текст : непосредственный.Техническое руководство по прецизионным скрайберам стекла фирмы VPI / ВЦП-. - c. - Текст : непосредственный.Каталог запасных частей / ВЦП. - 26 c. - Текст : непосредственный.Чон Сек Хен.Автоматизированное проектирование топологии аналого-цифровых интегральных схем РЭС на персональных ЭВМ : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13 / Чон Сек Хен, 1991. - 14 с. - Текст : непосредственный.Руководство по работе с системой MIT 4 / ВЦП. - 151 c. - Текст : непосредственный.Быстрые тепловые процессы. Изучение окисления кремния и активация внедренной примеси бора / ВЦП. - 55 c. - Текст : непосредственный.Основные направления развития компьютерной технологии. Приложение А. Технологии изготовления полупроводниковых приборов / ВЦП. - 35 c. - Текст : непосредственный.Оскар Хосе Араика Ривера.Радиационные дефекты в имплантированных слоях кремния п-типа и их воздействие на диффузию сурьмы и мышьяка : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Оскар Хосе Араика Ривера, 1993. - 14 с. - Текст : непосредственный.Автоматическая пила для резки полупроводниковых пластин на кристаллы, модель DAD-2H/6T, DAD-2H/6TM (Часть II) / ВЦП. - 124 c. - Текст : непосредственный.Автоматическая пила для резки полупроводниковых пластин на кристаллы.В 2-х кн. / ВЦП. - 106 с. - Текст : непосредственный.Диффузионная сварка кремния / ВЦП. - 9 c. - Текст : непосредственный.Ангер Вакумат. Документация / ВЦП. - 41 c. - Текст : непосредственный.Суетин Н.В. Теоретическое исследование газовых разрядов,используемых в плазменной микротехнологии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.08 / Н. В. Суетин, 1993. - 22 с. - Текст : непосредственный.Коваль Ю.И. Исследование особенностей воздействия ионного облучения на свойства полимерных масок в процессах микроструктурирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / Ю. И. Коваль, 1993. - 19 с. - Текст : непосредственный.Волков А.Б. Электрофизические свойства микромостиков, формируемых туннельным зондом : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / А. Б. Волков, 1994. - 15 с. - Текст : непосредственный.Никифоров В.В. Разряд-ионизация кадмия на поверхности CdSe : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук: 02.00.04 / В. В. Никифоров, 1993. - 19 с. - Текст : непосредственный.Аршук Е.П. Автоматизация финишной обработки выпрямительных полупроводниковых диодов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.07 / Е. П. Аршук, 1994. - 16 с. - Текст : непосредственный.Попов Г.В. Теоретические основы синтеза технологического оборудования с аэродинамическими прослойками при автоматизации производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.13.07,05.27.07 / Г. В. Попов, 1994. - 32 с. - Текст : непосредственный.Кривошеев Ю.К. Процессы тепло- и массопереноса в технологиях газофазного синтеза материалов для волоконной оптики и микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.14 / Ю. К. Кривошеев, 1994. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽