Полное описание

Д10-20/83107
621/П 850
Прудников, Н. В. Лазерные технологии, материалы и элементная база для микросистемной техники / Н. В. Прудников, М. А. Савельев ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Межведомственный центр аналитических исследований в области физики, химии и биологии при президиуме Российской академии наук (МЦАИ РАН). - Москва : МЦАИ РАН, 2020. - 148 с. : ил. - Библиогр.: с. 145-147 (31 назв.). - 50 экз. - ISBN 978-5-4465-2905-6 : 200 р. - Текст (визуальный) : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621-181.4

Рубрики:
Микросистемотехника

Кл.слова (ненормированные): лазерное излучение -- взаимодействие с веществом -- индустриальные лазеры -- литография -- оптические материалы -- твердотельные источники тока -- неохлаждаемые приемники -- фотоприемники
Аннотация: В книге рассмотрены новые эффекты и особенности взаимодействия лазерного излучения с различными материалами, современные способы усиления фемтосекундных лазерных импульсов. Изложены особенности лазерных технологических процессов в микросистемной технике. Представлены исследования по разработке перспективных миниатюрных источников токов и созданию неохлаждаемых приемников на основе принципов волновой микромеханики. Для научных работников, инженеров, студентов, аспирантов, а также широкого круга читателей, интересующихся вопросами использования лазерных технологий в микросистемной технике
Доп. точки доступа:
Савельев, М.А.
Межведомственный центр аналитических исследований в области физики, химии и биологии при президиуме Российской академии наук (Москва)

Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
Свободны: ХРЦ (1)

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽