• ВХОД
  •  

    Полное описание

    М/42285/18(1995)
    The SEM metrology of the microrelief elements / Yu.A.Novikov,A.V.Rakov,I.Yu.Stekolin,I.B.Strizhkov. - Moscow : [s. n.], 1995. - 12 p. : il. - (Препринт / Институт общей физики (Москва) ; 18(1995)). - 100 экз. - Б. ц. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.76:658.562(04)

    Рубрики:
    Интегральные схемы большие -- Технический контроль

    Кл.слова (ненормированные): большая интегральная схема -- технический контроль
    Доп. точки доступа:
    Novikov, Yu.A.
    Rakov, A.V.
    Stekolin, I.Yu.
    Strizhkov, I.B.
    Экз-ры полностью М/42285/18(1995)
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)



    Заказ фрагмента документа ₽