• ВХОД
  •  

    Полное описание

    06931000032
    Быстрые тепловые процессы. Изучение окисления кремния и активация внедренной примеси бора / ВЦП. - [Б. м. : б. и.]. - 55 c. : ил. - Пер. дис.: Procedes thermiques rapides. Etude de l'oxydation du silicium et de l'activation de l'impurete bore implantee / F. Marou. - S.l., 1990. - P. 1-52(Франция). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ 47.13.11

    Рубрики:
    Кремний

    Кл.слова (ненормированные): быстрые тепловые процессы -- внедренный бор -- ускоренная диффузия -- резкие переходы -- отжиг
    Доп. точки доступа:
    Marou, F.
    Экз-ры полностью 06931000032
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)
    Копия: мкф.



    Заказ фрагмента документа ₽