• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Д10-20/80657
    621.3/П 396
     Плотникова, Екатерина Юрьевна. Моделирование технологических процессов и интегральных микросхем : лабораторный практикум / Е. Ю. Плотникова, А. В. Арсентьев, А. А. Винокуров ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Воронежский государственный технический университет. - Воронеж : Изд-во ВГТУ, 2020. - 95 с. : ил. - Библиогр.: с. 94 (12 назв.). - 350 экз. - ISBN 978-5-7731-0866-5 : 100 р. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77-047.58(076.5)
    621.3.049.77-047.84(076.5)

    Рубрики:
    Интегральные схемы -- Моделирование -- Учебники и пособия
    Интегральные схемы -- Производство -- Моделирование -- Учебники и пособия

    Кл.слова (ненормированные): полупроводниковые приборы -- дискретные устройства -- технологическое моделирование -- автоматизированное проектирование
    Аннотация: Представлены задачи по методам математического моделирования технологических процессов микро- и наноэлектронного производства в системе автоматизированного проектирования TCAD. Приведены справочные материалы по методам моделирования технологических операций и задания для лабораторных работ. Материал иллюстрируется примерами.
    Доп. точки доступа:
    Арсентьев, Алексей Владимирович
    Винокуров, Александр Александрович
    Воронежский государственный технический университет
    Экз-ры полностью Д10-20/80657
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
    Свободны: ХРЦ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽