• ВХОД
  •  

    Полное описание

    W8956/Vol.23,N 1-4,1994
    Microcircuit engineering 93 : ME : proc.of the intern.conf.on microfabrication,Sept.26-29,1993,Maastricht / ME'93. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 1994. - 496 p. : ill. - (Microelectronic engineering, ISSN 0167-9317 ; vol.23,N 1-4,1994). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце статей
    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.77-047.84(062)

    Рубрики:
    Интегральные схемы -- Производство -- Съезды и конференции

    Доп. точки доступа:
    Radelaar, S.\comp.\
    Экз-ры полностью W8956/Vol.23,N 1-4,1994
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)



    Заказ фрагмента документа ₽