Полное описание
>
Microcircuit engineering 93 : ME : proc.of the intern.conf.on microfabrication,Sept.26-29,1993,Maastricht / ME'93. - Amsterdam [etc.] : Elsevier, 1994. - 496 p. : ill. - (Microelectronic engineering, ISSN 0167-9317 ; vol.23,N 1-4,1994). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.77-047.84(062) |
Рубрики:
Интегральные схемы -- Производство -- Съезды и конференции
Доп. точки доступа:
Radelaar, S.\comp.\
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
Свободны: ХР (1)
Microelectronic Engineering. - Журнал.Micro-and nanoengineering 94 : Proc.of the intern.conf.on micro-and nanofabrication,Sept.26-29,1994,Davos / Ed. H. W. Lehmann, 1995. - XVII,564 p. p. - Текст : непосредственный.Electron and optical beam testing of electronic devices : Proc.of the 3rd Europ.conf.on electron and optical beam testing of electronic devices,Sept.1-3,1993,Zurich / ed. A. Birolini, 1994. - XIII,442 p. p. - Текст : непосредственный.Integrated processing for micro and optoelectronics : Proc.of the symp.D on integrated processing for micro and optoelectronics of the 1993 E-MRS spring meeting conf.,held in Strasbourg,May 4-7,1993 / Ed. Y. I. Nissim, 1994. - VII,91-374 p. p. - Текст : непосредственный.Microcircuit engineering 93 : Proc.of the intern.conf.on microfabrication,Sept.26-29,1993,Maastricht / ME'93, 1994. - 496 p. - Текст : непосредственный.Proceedings of the 9th conference on insulating films on semiconductors,June 7-10,1995,Villard-de-Lans / INFOS'95, 1995. - XVIII,489 p. p. - Текст : непосредственный.Microcircuit engineering 92 : Proc.of the intern.conf.on microfabrication,held Sept.21-24,1992,Erlangen / Ed.: H. Ryssel, D. Stephani, 1993. - 500 p. - Текст : непосредственный.Proceedings of the 8th biennial conference on insulating films on semiconductors,held June 2-5,1993,Delft / INFOS'93, 1993. - XVI,420 p. p. - Текст : непосредственный.Microcircuit engineering 91 : Proc.of the intern.conf.on microlithography,Sept.17-19,1991,Rome / Ed.: A. Tucciarone, A. Paoletti, 1992. - XVII,582 p. p. - Текст : непосредственный.Solid state device research 92 : Proc.of the 22nd Europ.solid state device research conf.,Leuven,14-17 Sept.1992 / ESSDERC'92, 1992. - XXXVII,932 p. p. - Текст : непосредственный.Proceedings of the 1st European meeting on integrated ferroelectrics,held in Nijmegen,July 3-5,1995 / EMIF 1, 1995. - 340 p. - Текст : непосредственный.Micro-and nanoengineering 95 : Proc.of the intern.conf.on micro-and nanofabrication,Sept.25-29,1995,Aix en Provence / Ed. J. Perrocheau, 1996. - XVIII,626 p. p. - Текст : непосредственный.Electron and optical beam testing of electronic devices : Proc.of the 5th European conf.on electron..Aug.27-30,1995,Wuppertal,Germany / ed. E. Wolfgang, 1996. - XII,432 p. p. - Текст : непосредственный.Special issue on JESSI basic & long-term research : Advanced CMOS cluster Workshop,29-30 March 1995 / ed. R. de Keersmaecker, 1996. - 134 p. - Текст : непосредственный.Proceedings of the symposium J on advanced materials for interconnections of the E-MRS spring meeting conference Strasbourg,June 4-7,1996 / E-MRS, 1997. - 451 p. - Текст : непосредственный.Electron and optical beam testing of integrated circuits : Proc.of the 3rd European conf.,Sept.9-11,1991,Como / ed. M. Melgara, 1992. - XII,534 с с.Micro- and nanoengineering 98 : Proc. of the Intern. conf. on micro- and nanofabrication, Sept.22-24, 1998, Leuven, Belgium / Ed. L. Van den hove, 1999. - XIII,514 p. p. - Текст : непосредственный.New phenomena in mesoscopic structures : Proc. of the fourth Intern. symp. on new phenomena in mesoscopic structures, Hawaii, 7-11 Dec., 1998 / ed. T. Ando, 1999. - XIII,438 p. p. - Текст : непосредственный.Reliability in VLSI circuits: operation, manufacturing and design : Proc. of the third sess. Intern. summer school on advanced microelectronics-Grenoble, June 28 - July 4, 1999, Autrans, France / MIGAS, 1999. - 204 p. - Текст : непосредственный.Proceedings of the 11th binneal conference on insulating films on semiconductors, Jun.16-19, 1999, Kloster Banz / INFOS'99, 1999. - XII, 447 p. 447 p. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыХимическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений Tl2CfBa2Cu20y / ВЦП ГР. - 9 с. - Текст : непосредственный.Применение керамических материалов для корпусирования приборов микроэлектроники / ВЦП. - 25 с. - Текст : непосредственный.Техническое руководство по прецизионным скрайберам стекла фирмы VPI / ВЦП-. - c. - Текст : непосредственный.Каталог запасных частей / ВЦП. - 26 c. - Текст : непосредственный.Чон Сек Хен.Автоматизированное проектирование топологии аналого-цифровых интегральных схем РЭС на персональных ЭВМ : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13 / Чон Сек Хен, 1991. - 14 с. - Текст : непосредственный.Руководство по работе с системой MIT 4 / ВЦП. - 151 c. - Текст : непосредственный.Быстрые тепловые процессы. Изучение окисления кремния и активация внедренной примеси бора / ВЦП. - 55 c. - Текст : непосредственный.Основные направления развития компьютерной технологии. Приложение А. Технологии изготовления полупроводниковых приборов / ВЦП. - 35 c. - Текст : непосредственный.Оскар Хосе Араика Ривера.Радиационные дефекты в имплантированных слоях кремния п-типа и их воздействие на диффузию сурьмы и мышьяка : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Оскар Хосе Араика Ривера, 1993. - 14 с. - Текст : непосредственный.Автоматическая пила для резки полупроводниковых пластин на кристаллы, модель DAD-2H/6T, DAD-2H/6TM (Часть II) / ВЦП. - 124 c. - Текст : непосредственный.Автоматическая пила для резки полупроводниковых пластин на кристаллы.В 2-х кн. / ВЦП. - 106 с. - Текст : непосредственный.Диффузионная сварка кремния / ВЦП. - 9 c. - Текст : непосредственный.Ангер Вакумат. Документация / ВЦП. - 41 c. - Текст : непосредственный.Суетин Н.В. Теоретическое исследование газовых разрядов,используемых в плазменной микротехнологии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.08 / Н. В. Суетин, 1993. - 22 с. - Текст : непосредственный.Коваль Ю.И. Исследование особенностей воздействия ионного облучения на свойства полимерных масок в процессах микроструктурирования : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / Ю. И. Коваль, 1993. - 19 с. - Текст : непосредственный.Волков А.Б. Электрофизические свойства микромостиков, формируемых туннельным зондом : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / А. Б. Волков, 1994. - 15 с. - Текст : непосредственный.Никифоров В.В. Разряд-ионизация кадмия на поверхности CdSe : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук: 02.00.04 / В. В. Никифоров, 1993. - 19 с. - Текст : непосредственный.Аршук Е.П. Автоматизация финишной обработки выпрямительных полупроводниковых диодов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.07 / Е. П. Аршук, 1994. - 16 с. - Текст : непосредственный.Попов Г.В. Теоретические основы синтеза технологического оборудования с аэродинамическими прослойками при автоматизации производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.13.07,05.27.07 / Г. В. Попов, 1994. - 32 с. - Текст : непосредственный.Кривошеев Ю.К. Процессы тепло- и массопереноса в технологиях газофазного синтеза материалов для волоконной оптики и микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.14 / Ю. К. Кривошеев, 1994. - 16 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыMicrocircuit engineering 93 : Proc.of the intern.conf.on microfabrication,Sept.26-29,1993,Maastricht / ME'93, 1994. - 496 p. - Текст : непосредственный.Proceedings of the 1988 bipolar circuits and technology meeting,Sept.12-13,1988,Minneapolis(Mn) : Mfiche(3) / BCTM, 1988. - 250 мкфш. - Текст : непосредственный.Proceedings of the 1987 bipolar circuits and technology meeting,Sept.21-22,1987,Minneapolis,Mn : Mfiche(3) / BCTM, 1987. - 205 мкфш. - Текст : непосредственный.Papers from 2001 6th International conference,Oct. 22-25,2001,Shanghai,China / Ed.:Li B.-Z. et al. Vol.1 / ), 2001. - XVI,732,XV p. - Текст : непосредственный.Papers from 2001 6th international conference,Oct.22-25,2001,Shanghai / Ed.:Li B.-Z. et al. Vol.2 / ), 2001. - XVI,733-1473,XV p. - Текст : непосредственный.
Заказ фрагмента документа ₽