• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР93-2524
    Игнатьев, А. С. Электронная Оже-спектроскопия для исследования и контроля технологии СБИС : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.10 / А. С. Игнатьев. - М. : [б. и.], 1993. - 45 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Моск.ин-т электрон.техники. Библиогр.: с. 35-45(76назв.).
    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.771.14:658.562
    Экз-ры полностью АР93-2524
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)
    Копия: мкфш. Шифр МФ



    Заказ фрагмента документа ₽