• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Ж2-19/67166
    621.9/Э 455
    "Электронно-лучевые технологии", конференция с международным участием (2019 ; Черноголовка). Конференция с международным участием "Электронно-лучевые технологии". КЭЛТ-2019, 30 сентября - 3 октября 2019 г. : тезисы докладов / Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники". - Черноголовка : ИПТМ РАН, 2019. - 174, [1] с. : ил. - Библиогр. в конце отд. ст. - Авт. указ. в конце кн. - 25 экз. - ISBN 978-5-89589-114-8 : 200 р. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    55.20.15621.9.048.7(062)

    Рубрики:
    Электронная обработка материалов -- Съезды и конференции

    Доп. точки доступа:
    Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов (Москва)
    Экз-ры полностью Ж2-19/67166
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
    Свободны: ПНТ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽