Приложение
для AndroidПолное описание
Петрова, В. З. Методы получения тонких диэлектрических пленок для целей микроэлектроники и исследование их состава и структуры : учеб. пособие / В. З. Петрова, Н. И. Кошелев, А. И. Ермолаева. - М. : [б. и.], 1994. - 96 c. : ил. - 200 экз. - ISBN 5-7256-0028-9 : Б. ц. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т.). Библиогр.:с.94(10назв.)
| ГРНТИ | УДК | |
| 45.09.37 | 621.315.61-416 |
Рубрики:
Диэлектрические пленки
Кл.слова (ненормированные): диэлектрическая пленка
Доп. точки доступа:
Кошелев, Н.И.
Ермолаева, А.И.
Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)
Исследование локализованных уровней в полуизоляторах с помощью комбинированных измерений термически активированной омической проводимости и проводимости, ограниченной пространственным зарядом / Ин-т сверхтвердых материалов. - 27 с. - Текст : непосредственный.Драчев А.И. Электроперенос в полиметилметакрилате,содержащем примеси : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / А. И. Драчев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный.Шевченко В.И. Многопараметровые электрооемкостные исследования диэлектрических слоев : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:01.04.13 / В. И. Шевченко, 1991. - 14 с. - Текст : непосредственный.Пашацкий Н.В. Теплофизические основы многодугового разряда и его использование в обработке диэлектрических материалов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:01.04.14 / Н. В. Пашацкий, 1993. - 46 с. - Текст : непосредственный.Хазанов Е.Н. Кинетика неравновесных фононов в диэлектрических материалах с высокой концентрацией дефектов структуры : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук в форме науч.докл.:01.04.10 / Е. Н. Хазанов, 1993. - 74 с. - Текст : непосредственный.Соболев А.Б. Исследование электронной структуры и оптических свойств идеальных и содержащих точечные дефекты кристаллов диэлектриков кластерным методом рассеянных волн : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук:01.04.10 / А. Б. Соболев, 1994. - 46 с. - Текст : непосредственный.Шептунов О.А. Исследование диэлектрической системы "неоднородная пленка- однородная подложка" эллипсометрическим методом : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ-мат.наук:01.04.01 / О. А. Шептунов, 1993. - 15 с. - Текст : непосредственный.Горбатенко В.В. Динамика доменных границ и солитонов в сегнетоэлектрическом кристалле Rb ZnCl : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / В. В. Горбатенко, 1994. - 14 с. - Текст : непосредственный.Божко А.Д. Электронный транспорт в диэлектрических алмазоподобных пленках углерода, содержащих вольфрам и кремний : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.09 / А. Д. Божко, 1994. - 16 с. - Текст : непосредственный.Тимошенков С.П. Синтез диэлектрических многокомпонентных материалов в высокочастотной плазме и исследование их свойств : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / С. П. Тимошенков, 1994. - 30 с. - Текст : непосредственный.Бабкин Е.В. Электронные процессы, магнитное упорядочение и размерные явления в оксидных пленках : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук: 01.04.11 / Е. В. Бабкин, 1994. - 32 с. - Текст : непосредственный.Салак А.Н. Структура и диэлектрические свойства свинецсодержащих метастабильных перовскитных фаз высокого давления : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.07 / А. Н. Салак, 1994. - 21 с. - Текст : непосредственный.Панахов Н.Т. Природа и механизм образования радиационных и электроразрядных дефектов в SiO /B O : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.18 / Н. Т. Панахов, 1994. - 23 с. - Текст : непосредственный.Ершова Н.Ю. Исследование электрической прочности тонких диэлектрических слоев : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.04 / Н. Ю. Ершова, 1995. - 18 с. - Текст : непосредственный.Астапова Е.С. Структурные основы радиационной стойкости керамических диэлектриков : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:01.04.10 / Е. С. Астапова, 1995. - 25 с. - Текст : непосредственный.Богданов Н.С. Оперативные резонаторные методы исследования диэлектриков и углепластиков в диапазоне СВЧ : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.12.07 / Н. С. Богданов, 1995. - 20 с. - Текст : непосредственный.Головчанская Р.Г. Электрохимические, химические и автокаталитические аспекты новых процессов металлизации поверхностей диэлектриков и объектов с комбинированной электропроводимостью : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра хим.наук:02.00.05 / Р. Г. Головчанская, 1995. - 39 с. - Текст : непосредственный.Ковалгин А.Ю. Исследование процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.06 / А. Ю. Ковалгин, 1995. - 16 с. - Текст : непосредственный.Смирнова Т.П. Химия тонких диэлектрических пленок и процессы их получения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра хим наук (защита в форме науч.докл.):02.00.01 / Т. П. Смирнова, 1994. - 53 с. - Текст : непосредственный.Стеблянко А.В. Влияние электродинамики жидкого диэлектрика на его волновые свойства : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук:01.04.03:01.04.10 / А. В. Стеблянко, 1996. - 20 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыSahoo N.K. Non-destructive characterization techniques for rapid optical and structural analysis of dielectric thin films / N.K.Sahoo,K.V.S.R.Apparao, 1993. - 47 p. - Текст : непосредственный.Петрова В.З. Методы получения тонких диэлектрических пленок для целей микроэлектроники и исследование их состава и структуры : Учеб. пособие / В. З. Петрова, Н. И. Кошелев, А. И. Ермолаева, 1994. - 96 c. - Текст : непосредственный.Сорокин И.Н. Диэлектрические пленки в полупроводниковой электронике : Учеб.пособие по курсу "Физ.-хим.основы технологии микроэлектроники" / И.Н.Сорокин,М.В.Акуленок, 1995. - 116 c. - Текст : непосредственный.Wang W. Dielektrische Eigenschaften dunner Schichten : Diss. / W.Wang, 1992. - 100 S. - Текст : непосредственный.Лифантьев Н.А. Определение энергетических коэффициентов пропускания, отражения и поглощения тонких пленок. 2. Определение энергетических коэффициентов пленки на поверхности лейкосапфира / Н.А.Лифантьев,П.П.Дьяченко, 1998. - 15 с. - Текст : непосредственный.Очирбат Г. К теории рассеяния р-поляризованного света на нелинейной диэлектрической пленке / Г.Очирбат , 1991. - 7 с. - Текст : непосредственный.Ибрагимов Т.Д. Объемные и поверхностные колебательные состояния в полупроводниковых и диэлектрических пленках / Т.Д.Ибрагимов,Х.С.Наджафова, 1991. - 30 с. - Текст : непосредственный.Якубович Б.И. Электрический шум в диэлектрических пленках / Б.И.Якубович, 2003. - 11 с. - Текст : непосредственный.Диэлектрики в наноэлектронике / В. А. Гриценко [и др.], 2010. - 257 с. - Текст : непосредственный.Евтихов М.Г. Теоретическое исследование спектров ТЕ-волн в многослойных пленках из ферромагнитных и диэлектрических материалов / М. Г. Евтихов, С. А. Никитов, Е. П. Новичихин, 2013. - 66 с. - Текст : непосредственный.Гриценко В.А. Физика диэлектрических пленок. Атомная и электронная структура / В. А. Гриценко, Т. В. Перевалов, 2015. - 232 с.Гриценко В.А. Физика диэлектрических пленок. Механизмы транспорта заряда и физические основы приборов памяти / В. А. Гриценко, Д. Р. Исламов, 2017. - 351 с. - Текст : непосредственный.Способ синтеза-состав-структура-свойство для твердофазных нанообъектов - функциональных пленок на полупроводниках и магнитных нанокристаллов : учебное пособие / И. Я. Миттова, Б. В. Сладкопевцев, В. О. Миттова [и др.], 2021. - 93, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.
Шептунов О.А. Исследование диэлектрической системы "неоднородная пленка- однородная подложка" эллипсометрическим методом : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ-мат.наук:01.04.01 / О. А. Шептунов, 1993. - 15 с. - Текст : непосредственный.Митькин Ю.А. Разработка теории процессов и технологий нанесения жидких электроизоляционных материалов на длинномерные изделия с использованием для калибрования электрических и магнитных полей : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.09.02 / Ю. А. Митькин, 1993. - 34 с. - Текст : непосредственный.Смирнова Т.П. Химия тонких диэлектрических пленок и процессы их получения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра хим наук (защита в форме науч.докл.):02.00.01 / Т. П. Смирнова, 1994. - 53 с. - Текст : непосредственный.Сысоев С.Е. Исследование нанометровых пленок собственных оксидов полупроводника InP и ВТСП Dy1 Ba2 Cu3 O7-б методом фотоэлектронной спектроскопии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 01.04.04 / С. Е. Сысоев, 1998. - 18 с. - Текст : непосредственный.Стефанович Г.Б. Переход металл-изолятор в пленочных структурах на основе оксидов переходных металлов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук: 01.04.10 / Г. Б. Стефанович, 1997. - 31 с. - Текст : непосредственный.Александров С.Е. Закономерности низкотемпературного химического осаждения нитридных и оксинитридных пленок из газовой фазы : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра хим. наук: 05.27.06 / С. Е. Александров, 1998. - 34 с. - Текст : непосредственный.Иванов И.В. Структура и проводимость тонких пленок жидкого диэлектрика на поверхности твердого тела : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук:01.04.10 / И. В. Иванов, 1998. - 18 с. - Текст : непосредственный.Шульпеков А.М. Получение, физико-химические свойства и применение тонких пленок ZrO , ZrO -Y Oз, ZrO -Fe Oз : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.17.11 / А. М. Шульпеков, 1999. - 20 с. - Текст : непосредственный.Новоселов К.П. Математическое моделирование процесса осаждения нитрида кремния из дихлоросилана и аммиака : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / К. П. Новоселов, 2000. - 14 с. - Текст : непосредственный.Кострюков В.Ф. Нелинейность совместного воздействия оксидов свинца, сурьмы и висмута на процесс термического окисления арсенида галлия : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. хим. наук :02.00.01 / В. Ф. Кострюков, 2000. - 23 с. - Текст : непосредственный.Демидов В.В. Радиоволновой контроль диэлектрических покрытий на диэлектрических подложках с переменными геометрическими параметрами : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.11.13 / В. В. Демидов, 1990. - 23 с. - Текст : непосредственный.Главатских И.А. Моделирование процессов транспорта и эмиссии электронов при заряжении поверхности диоксида кремния электронным пучком : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / И. А. Главатских, 2002. - 24 с. - Текст : непосредственный.Саркаров Т.Э. Разработка процессов формирования диэлектрических пленок и микроэлектронных устройств для интегральной электроники : автореф. дис. .. д-ра техн. наук : 05.27.01 / Т. Э. Саркаров, 2002. - 30 с. - Текст : непосредственный.Борило Л.П. Синтез и физико-химические закономерности формирования золь-гель методом тонкопленочных и дисперсных наноматериалов оксидных систем элементов Ш-V групп : автореф. дис. .. д-ра хим. наук : 02.00.04, 02.00.01 / Л. П. Борило, 2003. - 45 с. - Текст : непосредственный.Семенова С.Э. Автоматизация непрерывного фотометрического контроля скорости осаждения и травления тонких диэлектрических пленок : автореф. дис. .. канд. техн. наук : 05.13.06 / С. Э. Семенова, 2003. - 15 c. - Текст : непосредственный.Кривоносов С.Е. Механизмы возникновения катодных неустойчивостей при напылении пленок сложных оксидов : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук : 01.04.03 / С. Е. Кривоносов, 2003. - 28 c. - Текст : непосредственный.Молчан И.С. Оптические свойства европий- и тербийсодержащих оксидных пленок, сформированных золь-гель методом в пористом анодном оксиде алюминия : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук : 05.27.01 / И. С. Молчан, 2003. - 23 с. ил. - Текст : непосредственный.Олейник А.С. Пленки диоксида ванадия в устройствах индикаторной техники и микроэлектроники : автореф. дис. .. д-ра техн. наук : 05.27.01 / А. С. Олейник, 2004. - 34 с. - Текст : непосредственный.Sahoo N.K. Non-destructive characterization techniques for rapid optical and structural analysis of dielectric thin films / N.K.Sahoo,K.V.S.R.Apparao, 1993. - 47 p. - Текст : непосредственный.Петрова В.З. Методы получения тонких диэлектрических пленок для целей микроэлектроники и исследование их состава и структуры : Учеб. пособие / В. З. Петрова, Н. И. Кошелев, А. И. Ермолаева, 1994. - 96 c. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽