• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР93-0810
    Журавлев, А. В. Использование ионно-электронной эмиссии для контроля процессов ионно-лучевого травления пленочных структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / А. В. Журавлев. - М. : [б. и.], 1993. - 20 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Моск.ин-т стали и сплавов. Библиогр.: с. 19-20(8 назв.).
    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77-047.84(043)
    Экз-ры полностью АР93-0810
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)
    Копия: мкф.



    Заказ фрагмента документа ₽