• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Н/21670/1,2
    Цветков, Ю. Б.
    Процессы и оборудование микротехнологии : учебное пособие / Ю. Б. Цветков ; Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2018 - . - (Учебное пособие МГТУ им. Н. Э. Баумана). - Текст : непосредственный.
    Модули 1, 2. - 2018. - 123 с. : ил. - Библиогр. в конце разд. - 100 экз. - ISBN 978-5-7038-4864-7 : 100 р.
    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76-047.84
    45.53621.31-181.4-047.84

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство
    Микроэлектромеханические системы -- Производство

    Доп. точки доступа:
    Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
    Экз-ры полностью Н/21670/1,2
    Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
    Свободны: ХР (2)



    Заказ фрагмента документа ₽