Полное описание
>
Цветков, Ю. Б.
Процессы и оборудование микротехнологии : учебное пособие / Ю. Б. Цветков ; Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет). - Москва : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2018 - . - (Учебное пособие МГТУ им. Н. Э. Баумана). - Текст : непосредственный.
Модули 1, 2. - 2018. - 123 с. : ил. - Библиогр. в конце разд. - 100 экз. - ISBN 978-5-7038-4864-7 : 100 р.
| ГРНТИ | УДК | |
| 47.13.11 | 621.3.049.76-047.84 | |
| 45.53 | 621.31-181.4-047.84 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Микроэлектромеханические системы -- Производство
Доп. точки доступа:
Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : ХР (2)
Свободны: ХР (2)
Выполнение и чтение чертежей сборочных единиц в курсе "Инженерная графика" : учеб. пособие / Т. Л. Белобородова [и др.], 2015. - 65 с. - Текст : непосредственный.Лиманов А.И. Введение в теорию радиолокации : учеб. пособие / А. И. Лиманов, С. И. Нефедов, Г. П. Слукин, 2015. - 151 с.Никифоров Ю.В. Адсорбционные воздухоразделительные установки для получения газообразного и жидкого азота : учеб. пособие / Ю. В. Никифоров, А. А. Казакова, М. Б. Алехина, 2015. - 63 с.Деменков Н.П. Вычислительные методы решения задач оптимального управления на основе принципа максимума Понтрягина : учеб. пособие / Н. П. Деменков, 2015. - 78 с.Руководство к решению задач по векторному анализу : учеб. пособие / Н. И. Сидняев [и др.] ; под ред. Н. И. Сидняева, 2015. - 51 с.Никифоров Ю.В. Процессы диффузии и адсорбции в инженерных задачах. Примеры расчета : [учеб. пособие] / Ю. В. Никифоров, А. А. Казакова, М. Б. Алехина, 2017. - 108 с.Гончаренко Е.Е. Теоретические закономерности физико-химических процессов : учеб. пособие / Е. Е. Гончаренко, С. Л. Березина, И. И. Юрасова ; под общ. ред. В. Н. Шаповала, 2017. - 93 с.Жигалина О.М. Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств : учеб. пособие / О. М. Жигалина, 2017. - 121 с. - Текст : непосредственный.Кокуева Ж.М. Управление проектами : учебное пособие / Ж. М. Кокуева, 2018. - 142 с.Перевезенцев В.В. Радиационное состояние водоемов - охладителей атомных электростанций : учебное пособие / В. В. Перевезенцев, 2018. - 51, [2] с. - Текст : непосредственный.Меженная Н.М. Теория случайных процессов : курс лекций / Н. М. Меженная, 2018. - 76, [2] с.Алексеев, Ю. Е. Введение в информационные технологии и программирование на языке C в среде VS C++ : учебное пособие. Модуль 1 : Модуль 1 дисциплины "Информатика", 2018. - 99 с.Бигус Г.А. Диагностика состояния сварных соединений и конструкций : курс лекций / Г. А. Бигус, А. Л. Ремизов, А. А. Дерябин, 2018. - 318 с. - Текст : непосредственный.Бобков А.В. Системы распознавания образов : учебное пособие / А. В. Бобков, 2018. - 187, [2] с. - Текст : непосредственный.Ковгар А.А. Базовые средства ассемблера в языках высокого уровня : учебное пособие / А. А. Ковгар, В. П. Осипов, 2018. - 71 с.Веретимус Д.К. Физические основы механики. Колебания и волны. Элементы специальной теории относительности : учебное пособие / Д. К. Веретимус, Н. К. Веретимус, 2018. - 135 с. - Текст : непосредственный.Вельтищев В.В. Методы имитационного моделирования систем управления движением подводного аппарата : учебное пособие / В. В. Вельтищев, А. Б. Минеев, 2018. - 122, [1] с. - Текст : непосредственный.Васильев Б.Е. Численное моделирование задач динамики и прочности деталей газотурбинных установок и двигателей : учебное пособие / Б. Е. Васильев, 2018. - 174 с. - Текст : непосредственный.Цветков, Ю. Б. Процессы и оборудование микротехнологии : учебное пособие. Модули 1, 2, 2018. - 123 с. - Текст : непосредственный.Куприянов, А. И. Радиосигналы и радиоустройства в информационных системах : учебное пособие : в двух частях. Ч. 2 : Основные радиотехнические процессы, устройства и системы, 2018. - 121 с.
Показать все результатыХимическое осаждение из газовой фазы металлоорганических соединений Tl2CfBa2Cu20y / ВЦП ГР. - 9 с. - Текст : непосредственный.Применение керамических материалов для корпусирования приборов микроэлектроники / ВЦП. - 25 с. - Текст : непосредственный.Бытовые и аналогичные электронные приборы и сопутствующая аппаратура, работающие от электросети / ВЦП. - 94 c. - Текст : непосредственный.Публикации Международной Электротехнической Комиссии, требования, предъявляемые к бытовым электрическим устройствам / ВЦП. - 122 c. - Текст : непосредственный.Техническое руководство по прецизионным скрайберам стекла фирмы VPI / ВЦП-. - c. - Текст : непосредственный.Каталог запасных частей / ВЦП. - 26 c. - Текст : непосредственный.Установка, приведение в действие и эксплуатация модели вибратора V894-440T : Руководство пользователя / ВЦП. - 28 c. - Текст : непосредственный.Чон Сек Хен.Автоматизированное проектирование топологии аналого-цифровых интегральных схем РЭС на персональных ЭВМ : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.12.13 / Чон Сек Хен, 1991. - 14 с. - Текст : непосредственный.Кириллин Ю.Ю. Разработка линейных ускорителей электронов с глубокой регулировкой энергии и тока пучка для лучевой терапии : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:01.04.20 / Ю. Ю. Кириллин, 1990. - 22 с. - Текст : непосредственный.Федоров Г.А. Интегрально-кодовые системы измерений содержания и локализации инкорпорированных радиоактивных веществ : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра физ.-мат.наук:01.04.01 / Г. А. Федоров, 1991. - 42 с. - Текст : непосредственный.Корсун Н.А. Разработка и исследование программно-алгоритмических и технических средств автоматизированной системы для сбора и обработки векторкардиографической информации : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.13.09 / Н. А. Корсун, 1991. - 16 с. - Текст : непосредственный.Пашков Н.И. Технологические основы массового производства электродвигателей для стиральных машин : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.09.01 / Н. И. Пашков, 1991. - 19 с. - Текст : непосредственный.Шулешко Н.А. Разработка и исследование средств технического диагностирования электрооборудования троллейбуса : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.09.03 / Н. А. Шулешко, 1991. - 19 с. - Текст : непосредственный.Новгородцев А.Б. Задачи синтеза электрических полей в электрофизических устройствах : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:01.04.13:05.09.05 / А. Б. Новгородцев, 1991. - 33 с. - Текст : непосредственный.Экспериментальная система проверки на соответствие домашних систем автоматизации / ВЦП. - 13 c. - Текст : непосредственный.Руководство по работе с системой MIT 4 / ВЦП. - 151 c. - Текст : непосредственный.Быстрые тепловые процессы. Изучение окисления кремния и активация внедренной примеси бора / ВЦП. - 55 c. - Текст : непосредственный.Устройство ADA 150 : Руководство по использованию / ВЦП. - 32 c. - Текст : непосредственный.Сартасов Е.М. Декомпозиционное моделирование электромеханических систем автоматического управления : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:01.01.11 / Е. М. Сартасов, 1993. - 17 с. - Текст : непосредственный.Основные направления развития компьютерной технологии. Приложение А. Технологии изготовления полупроводниковых приборов / ВЦП. - 35 c. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыКурбанов Х. Разработка, исследование и освоение технологии производства изделий из коррозионно-стойких сплавов на основе алюминия методами пластического деформирования для микроэлектроники и электротехники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.16.05 / Х. Курбанов, 1991. - 39 с. - Текст : непосредственный.Редин В.М. Научные основы проектирования и эксплуатации межоперационных транспортных средств и чистых технологических объемов для производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01,05.27.07 / В. М. Редин, 1992. - 41 с. - Текст : непосредственный.Попов Г.В. Теоретические основы синтеза технологического оборудования с аэродинамическими прослойками при автоматизации производства изделий микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.13.07,05.27.07 / Г. В. Попов, 1994. - 32 с. - Текст : непосредственный.Веденин К.В. Моделирование процессов информационного обеспечения микроэлектронной технологии с применением методов искусственного интеллекта : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.13.16 / К. В. Веденин, 2000. - 18 с. - Текст : непосредственный.Бархоткин А.В. Разработка программно-аппаратного комплекса для диагностики и управления газовыми потоками в реакторах для быстрых термических процессов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.13.07 / А. В. Бархоткин, 1999. - 28 с. - Текст : непосредственный.Никишина С.В. Исследование и моделирование процессов накопления, обработки и анализа массивов технологических данных в области микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.13.18 / С. В. Никишина, 2002. - 16 с. - Текст : непосредственный.Абрамова Л.С. Разработка элементов и устройств системы управления процессом порезки щелочногалоидных монокристаллов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.13.05 / Л. С. Абрамова, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный.Microprocess : The 6th(5th intern.)microprocess conf.,Hiroshima,19-22 July,1993 / MPS 93, 1993. - 5823-6300 p. p.NANOLITHOGRAPHY: a borderland between STM,EB,IB,and X-ray lithographies : Proc.of the NATO advanced research workshop on NANOLITHOGRAPHY..Roma,Apr.6-8,1993 / ed. M. Gentili, 1994. - VIII,215 p. p. - Текст : непосредственный.Бессараб А.Б. Автоматизированные системы управления в технологии микроэлектроники : Учеб. пособие / А.Б.Бессараб, 1995. - 192 c. - Текст : непосредственный.The 9th international MicroProcess conference,held in Kitakyusyu-City,July 8-11,1996 / MPC'96, 1996. - 6348-6695 p. p. - Текст : непосредственный.MicroProcess : The 5th (4th intern.) microprocess conf.,Kanagawa,13-16 July 1992 / MPC 92, 1992. - 4103-4585 p. p.Adaption eines elektronischen Laborbuchs (Elab) an ein objektorientiertes Datenbank-Management-System / K.-U.Stucky,H.Eggert,A.Schmidt,R.Reiger, 1997. - 141 S. - Текст : непосредственный.Голубев, Н. Ф. Радиационные процессы в микроэлектронике. Ч. 1 : Физические основы и применение радиационно-термических процессов в технологии биполярных микроприборов, 1991. - 43 с. - Текст : непосредственный.Емельянов В.М. Автоматизация управления надежностными, физико-механическими и электрическими параметрами межсоединений интегрированной микроэлектронной аппаратуры / В.М.Емельянов, 1998. - 310 с. - Текст : непосредственный.Karthaus J. Galvanische Abscheidung von Metallen aus nichtwassrigen Elektrolyten fur die Mikrosystemtechnik : Diss. / J.Karthaus,K.Bade,W.Bacher, 2000. - VIII,121 S. S. - Текст : непосредственный.Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники : Учеб. пособие для приборостроит. спец. вузов / А.А. Сазонов, Р.В. Корнилов, Н.П. Кохан и др.; Под ред. А. А. Сазонова, 1991. - 334 c. - Текст : непосредственный.Конструктивно-технологические особенности изготовления микроэлектромеханических устройств торсионного типа : автореф. дис. .. канд. техн. наук : 05.27.06 / А. Н. Бойко, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный.Мир материалов и технологий. 6(14) : Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники / Д. М. Мартинес-Дуарт, Р. Д. Мартин-Палма, Ф. Агулло-Руеда; пер. с англ. А. В. Хачояна; под ред. Е. Б. Якимова, 2007. - 367 с. - Текст : непосредственный.Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7286 : Nanokontaktdrucken mit AFM-gesteuert phasenseparierten Blockcopolymerschichten : Diss. / R. Groger, 2007. - VI, 130 S. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽