• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Журнал
    Journal of Vacuum Science and Technology. Ser.A, Vacuum, Surfaces Films. - New York, NY : American Vacuum Society, 1964 - . - Выходит раз в два месяца. - ISSN 0734-2101. - Текст : непосредственный.
    СВЕДЕНИЯ ОБ ИЗМЕНЕНИИ ИЗДАНИЯ: Настоящее издание
    До 1983г. см.: Journal of Vacuum Science Technology (Шифр W3211)

    ГРНТИ
    29.03.29
    81.29

    Аннотация: Статьи по теоретическим и прикладным проблемам использования вакуумных систем и технологий в науке и технике: в физическом эксперименте, вакуумметрии, для исследования и обработки поверхностей, получения и исследования свойств электронных материалов, тонких пленок, особо чистых материалов; в вакуумно-металлургических и вакуумно-химических процессах, плазменных технологиях. Реклама.

    Записей номеров в Каталоге: 62
    ГодТомНомера
    1233pt.13pt.244Pt.14Pt.24pt.14pt.2562002
    199311              
    199513          
    199614          
    199715          
    199816              
    1998,VOL.16,N 1              
    199917           
    1999,V0L.17,N 4              
    1999,VOL.17,N 4               
    1999,VOL.17,N 6              
    200018          
    200119         
    200220           
    2002, VOL.20, N 5               
    200321              
    VOL.13,N 3,1995             
    VOL.14,N 2,1996              
    VOL.14,N 3,1996             
    VOL.15,N 3,1997