• ВХОД
  •  

    Полное описание

    W8873/Vol.11,N 2,1993
    International vacuum microelectronics conference (5 ; 1993 ; New York). Proceedings of the 5th international vacuum microelectronics conference,1993,New York / International vacuum microelectronics conference (5 ; 1993 ; New York) . - New York, 1993. - 530 p. : ill. - (Journal of vacuum science and technology B, ISSN 0734-211X ; vol.11,N 2,1993). - Б. ц. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.в конце статей
    ГРНТИ УДК
    47.29621.385-181.4(063)

    Рубрики:
    Вакуумная микроэлектроника -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): вакуумная микроэлектроникаЭкз-ры полностью W8873/Vol.11,N 2,1993
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
    Свободны: ПНТ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽