Полное описание
>
Полупроводниковые тонкопленочные газовые сенсоры / Н. К. Максимова [и др.] ; Нац. исслед. Том. гос. ун-т. - Томск : НТЛ, 2016. - 163 с. : ил. - Библиогр.: с. 151-157 (39 назв.). - 200 экз. - ISBN 978-5-89503-580-1 : 260 р. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
59.35 | 543.27.08 |
Рубрики:
Газоанализаторы
Аннотация: В моногpафии рассмотрены научные основы создания газовых сенсоров на основе тонких пленок металлооксидных полупроводников, предназначенных для детектирования ряда восстановительных и окислительных газов. Обобщены результаты оригинальных комплексных исследований микроструктуры, электрических и газочувствительных характеристик нанокристаллических пленок диоксида олова и триоксида вольфрама с добавками каталитических благородных металлов, полученных методами магнетронного напыления. Анализ экспериментально установленных закономерностей с использованием развитых теоретических представлений позволил уточнить механизмы проводимости и откликов сенсоров, модифицированных катализаторами Pt, Pd, Аu. Рассмотрены возможные подходы к повышению значений адсорбционного отклика селективности и стабильности параметров миниатюрныx полупроводниковых сенсоров.
Доп. точки доступа:
Максимова, Н.К.
Севастьянов, Е.Ю.
Сергейченко, Н.В.
Черников, Е.В.
Национальный исследовательский Томский гос. ун-т
>
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
Свободны: ПНТ (1)
Обложка
Заказ фрагмента документа ₽