• ВХОД
  •  

    Полное описание


    Старков, В. В. Нуклеационная стадия формирования макропор при анодном травлении кремния / В. В. Старков. - Текст : непосредственный // Радиационная физика твердого тела : тр. XIX Междунар. совещ. (31 авг.-5 сент. 2009 г., Севастополь). - М. : НИИ ПМТ, 2009. - С. 129-135. - Библиогр.: 5 назв.
    (Шифр в БД Ж2-09/51519)
    ГРНТИ 29.19.05

    Кл.слова (ненормированные): галлий
    Аннотация: Представлены результаты исследования влияния селективного облучения поверхности кремния ионами галлия на стадию нуклеации глубокого анодного травления.
    Экз-ры полностью Ж2-09/51519
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ПНТ (1)
    Свободны: ПНТ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽