• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР92-07522
    Редин, В. М. Научные основы проектирования и эксплуатации межоперационных транспортных средств и чистых технологических объемов для производства изделий микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01,05.27.07 / В. М. Редин. - М. : [б. и.], 1992. - 41 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Моск.ин-т электрон.техники. Библиогр.: с. 38-41(37 назв.).
    ГРНТИ УДК
    47.33.37621.3.049.76-047.84-52(043)
    Экз-ры полностью АР92-07522
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)
    Копия: мкф.



    Заказ фрагмента документа ₽