• ВХОД
  •  

    Полное описание

    АР92-04824
    Гулидов, Д. Н. Использование анизотропии свойств полуфабрикатов для оптимизации технологии кремниевых ИС : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.01 / Д. Н. Гулидов. - М. : [б. и.], 1992. - 50 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Моск.Ин-т электрон.техники. Библиогр.: с. 46-50.
    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77-047.84(043)
    Экз-ры полностью АР92-04824
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХР (1)
    Свободны: ХР (1)
    Копия: мкф.



    Заказ фрагмента документа ₽