• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Ар04-4228
    Семенова, С. Э. Автоматизация непрерывного фотометрического контроля скорости осаждения и травления тонких диэлектрических пленок : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.13.06 / С. Э. Семенова. - Рыбинск : [б. и.], 2003. - 15 c. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.: с. 14-15 (12 назв.).
    ГРНТИ УДК
    47.13.81621.315.61-416.002:658.562(043)
    Экз-ры полностью Ар04-4228
    Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : ХРЦ (1)
    Свободны: ХРЦ (1)



    Заказ фрагмента документа ₽