Полное описание

Петрова, В. З. Методы получения тонких диэлектрических пленок для целей микроэлектроники и исследование их состава и структуры / В. З. Петрова, Н. И. Кошелев, А. И. Ермолаева. - М. : [б. и.], 1994. - 96 c. : ил. - 200 экз. - ISBN 5-7256-0028-9. - Текст : непосредственный.
В надзаг.:Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т.). Библиогр.:с.94(10назв.)

ГРНТИ	УДК
45.09.37	621.315.61-416

Рубрики:
Диэлектрические пленки

Кл.слова (ненормированные): ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПЛЕНКА -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПЛЕНКА
Доп. точки доступа:
Кошелев, Н.И.
Ермолаева, А.И.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-94/19465)

Шифр в сводном ЭК: 0ca65fe073f95c6a5634e2a0267d847b

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽