• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Анищенко, Л. М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин. - М. : Радио и связь, 1995. - 177 c. : ил. - 500 экз. - ISBN 5-256-00577-4. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с.171-176(117назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.13.11621.3.049.76.001.2-52
    47.01.77621.3.049.76.001.57

    Рубрики:
    Микроэлектронные приборы -- Производство -- Проектирование
    Микроэлектронные приборы -- Производство -- Моделирование

    Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МОДЕЛИРОВАНИЕ -- ПРОЕКТИРОВАНИЕ -- ПРОИЗВОДСТВО
    Доп. точки доступа:
    Лавренюк, С.Ю.
    Петрухин, В.В.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д8-95/19335)

    Шифр в сводном ЭК: 2863c6e89e07fc15292c0f9437e2a75d



    Заказ фрагмента документа ₽