• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Каменева, А. Л. Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами / А. Л. Каменева, А. Ю. Клочков. - Пермь : Изд-во Перм. гос. техн. ун-та, 2010 (Пермь). - 125 с. - Библиогр.: с. 112-125 (126 назв.). - 100 экз. - ISBN 978-5-398-00527-1. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Перм. гос. техн. ун-т

    ГРНТИ УДК
    55.20.15621.793.184
    81.09.30621.793.74
    620.3

    Рубрики:
    Металлизация плазменная
    Нанотехнологии

    Аннотация: Представлены результаты модернизации и автоматизации вакуумного оборудования, получения и исследований пленок ZrN, полученных электродуговым испарением и магнетронным напылением. Изучено влияние технологических и тепловых параметров на структуру, фазовый состав и свойства пленок ZrN.
    Доп. точки доступа:
    Клочков, А.Ю.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-10/76147)

    Шифр в сводном ЭК: 4ddff97ffae5c9eddbbd9a9a6236deaf



    Заказ фрагмента документа ₽