Полное описание
Гаврилов, С. А. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : выставочные материалы / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов. - 2-е изд. - М. : РИОР ; [Б. м.] : Инфра-М, 2014. - 239 с. : ил. - (Высшее образование - Бакалавриат). - Библиогр.: с. 235-236 (26 назв.). - 700 экз. -
ISBN 978-5-369-01299-4. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ УДК 47.13.11 621.3.049.76-047.84 47.33.31 621.38-022.532
Рубрики: Микроэлектронные приборы -- Производство
Наноэлектроника
Аннотация: Приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологий.
Доп. точки доступа: Белов, А.Н.
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-14/4687)
Шифр в сводном ЭК: e017eeb4462e5507221783e45fc1bf3e
Гаврилов С.А. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : выставочные материалы / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов, 2014. - 239 с. - Текст : непосредственный. Бирюков А.Ю. Накопление дейтерия в масивных бериллиевых образцах и перепыленных пленках. Селективное распыление оксидной пленки на бериллии при бомбардировке ионами D+He+ / А. Ю. Бирюков, Д. В. Андреев, С. А. Гаврилов, 1998. - 11 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Белов А.А. Учет денежных валютных и расчетных операций : Учеб.-практ. пособие / А.А. Белов, А.Н. Белов, 2005. - 352 с. - Текст : непосредственный. Белов А.Н. Делопроизводство и документооборот : Учеб. пособие / А.Н. Белов, А.А. Белов, 2005. - 621 с. - Текст : непосредственный. Гаврилов С.А. Особенности кинетики электрохимического формирования и свойства слоев пористого кремния : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / С. А. Гаврилов, 1997. - 31 с. - Текст : непосредственный. Белов А.Н. Формирование и исследование свойств нитевидных нанокристаллов в матрице пористого анодного оксида алюминия : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.06 / А.Н. Белов, 2005. - 23 с. - Текст : непосредственный. Гаврилов С.А. Схемотехника : мастер-класс / С. А. Гаврилов, 2016. - 384 с. - Текст : непосредственный. Гаврилов С.А. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : учеб. пособие / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов, 2009. - 257 с. - Текст : непосредственный. Белов А.А. Учет материально-производственных запасов / А.А.Белов,А.Н.Белов, 2003. - 303 с. - Текст : непосредственный. Белов А.Н. Бухгалтерский учет в учреждениях непроизводственной сферы / А.Н.Белов, 1995. - 241 c. - Текст : непосредственный. Гаврилов С.А. Исследование метода двумерной неразрушающей диагностики поперечных характеристик пучков ускоренных заряженных частиц на основе ионизации остаточного газа : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.01 / С. А. Гаврилов, 2013. - 24 с. - Текст : непосредственный. Белов А.Н. Бухгалтерский учет в учреждениях непроизводственной сферы / А.Н.Белов, 1998. - 304 с. - Текст : непосредственный. Белов А.Н. Бухгалтерский учет в бюджетных учреждениях / А.Н. Белов, 2005. - 511 с. - Текст : непосредственный. Белов А.А. Бухгалтерский учет. Теория и практика : учебник / А.А. Белов, А.Н. Белов, 2005. - 621 с. - Текст : непосредственный. Белов А.Н. Делопроизводство и документооборот : учеб. пособие / А. Н. Белов, А. А. Белов, 2007. - 554 с. - Текст : непосредственный. Гаврилов С.А. Алгоритмы и программное обеспечение параметрической идентификации многомерных динамических объектов на основе обобщенных временных характеристик : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.01 / С. А. Гаврилов, 2002. - 22 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Анализ и диагностика финансово-хозяйственной деятельности промышленного предприятия : выставочные материалы / Е. Н. Изюмова, В. В. Мыльник, А. В. Мыльник, М. Б. Пушкарева, 2014. - 311 с. - Текст : непосредственный. Наумов А.Ф. Инновационная деятельность предприятия : выставочные материалы / А. Ф. Наумов, А. А. Захарова, 2015. - 255 с. - Текст : непосредственный. Шестаков Ю.А. История рекламы : выставочные материалы / Ю. А. Шестаков, 2016. - 258 с. - Текст : непосредственный. Попов Р.А. Региональное управление и территориальное планирование : выставочные материалы / Р. А. Попов, 2014. - 287 с. - Текст : непосредственный. Кулеш В.Ф. Экология. Учебная полевая практика : выставочные материалы / В. Ф. Кулеш, В. В. Маврищев, 2015. - 331 с. - Текст : непосредственный. Астафьева О.Е. Правовые основы природопользования и охраны окружающей среды : выставочные материалы / О. Е. Астафьева, А. В. Питрюк, 2014. - 269 с. - Текст : непосредственный. Бортаковский А.С. Линейная алгебра в примерах и задачах : выставочные материалы / А. С. Бортаковский, А. В. Пантелеев, 2015. - 591 с. - Текст : непосредственный. Костромина Е.В. Авиатранспортный маркетинг : выставочные материалы / Е. В. Костромина, 2012. - 360 с. - Текст : непосредственный. Журина Л.Л. Агрометеорология : выставочные материалы / Л. Л. Журина, 2015. - 348 с. - Текст : непосредственный. Булат Р.Е. Документационное обеспечение управления персоналом : выставочные материалы / Р. Е. Булат, 2015. - 232 с. - Текст : непосредственный. Теория надежности. Статистические модели : выставочные материалы / А. В. Антонов, М. С. Никулин, А. М. Никулин, В. А. Чепурко, 2015. - 575 с. - Текст : непосредственный. Игебаева Ф.А. Социология : выставочные материалы / Ф. А. Игебаева, 2014. - 235 с. - Текст : непосредственный. Рыжикова Т.Н. Аналитический маркетинг: что должен знать маркетинговый аналитик : выставочные материалы / Т. Н. Рыжикова, 2014. - 288 с. - Текст : непосредственный. Гиршберг М.А. Геодезия учебник : выставочные материалы / М. А. Гиршберг, 2013. - 383 с. - Текст : непосредственный. Чебакова Г.В. Оценка качества молока и молочных продуктов : выставочные материалы / Г. В. Чебакова, И. А. Зачесова, 2015. - 181 с. - Текст : непосредственный. Логинова Н.А. Планирование на предприятии транспорта : выставочные материалы / Н. А. Логинова, 2013. - 320 с. - Текст : непосредственный. Иванов Ю.Н. Основы национального счетоводства (международный стандарт СНС 2008 г.) : выставочные материалы / Ю. Н. Иванов, Ю. Н. Иванов, А. Н. Воробьев, С. Е. Казаринова [и др.], 2013. - 398 с. - Текст : непосредственный. Логинова Н.А. Экономическая оценка инвестиций на транспорте : выставочные материалы / Н. А. Логинова, 2013. - 251 с. - Текст : непосредственный. Нескоромных В.В. Методологические и правовые основы инженерного творчества : выставочные материалы / В. В. Нескоромных, В. П. Рожков, 2015. - 317 с. - Текст : непосредственный. Фаррахов А.Г. Управление социально-техническими системами : выставочные материалы / А. Г. Фаррахов, 2015. - 217 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Захаров Н.П. Механические явления в интегральных структурах / Н. П. Захаров, А. В. Багдасарян, 1992. - 144 с. - Текст : непосредственный. Шугуров А.Р. Эволюция рельефа поверхностей тонких пленок в процессе их формирования при внешних воздействиях: фрактальный анализ : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / А. Р. Шугуров, 2001. - 20 с. - Текст : непосредственный. Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Кристовский Г.В. Электронно-физическое моделирование КМОП БИС / Г. В. Кристовский, Л. А. Маслова, Ю. В. Фастовец, 1990. - 15 с. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Multiple-valued logic in VLSI design / Ed. J. T. Butler, 1991. - VII,120 p. p. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Малинаускас К.К. Разработка математического и программного обеспечения систем топологического проектирования СБИС с использованием диаграмм Вороного : специальность 05.13.11 "Математическое и программное обеспечение вычислительных машин,комплексов и компьютерных сетей" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. К. Малинаускас, 2007. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Баринов С.В. Разработка и исследование комплекса генетических алгоритмов разбиения схем с учетом временных задержек / С. В. Баринов, 2008. - 16 с. - Текст : непосредственный. Усикова М.А. Методы сверхлокального и селективного препарирования кремниевых интегральных схем / М. А. Усикова, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Венцов Н.Н. Исследование и разработка генетических алгоритмов и автоматов адаптации для повышения эффективности доступа к данным САПР СБИС : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)", 05.13.17 "Теоретические основы информатики" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. Н. Венцов, 2006. - 16 с. - Текст : непосредственный. Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Орлова М.Н. Наноэлектроника : выставочные материалы / М. Н. Орлова, И. В. Борзых, 2013. - 49 с. (Введено оглавление). - Текст : непосредственный. Гетеромагнитная микроэлектроника : Сб. науч. тр. / Рос. агентство по системам упр. Вып. 10 : Гетеромагнитная микро- и наноэлектроника. Прикладные аспекты. Экономика. Методические аспекты физического образования / под ред. А. В. Ляшенко, 2011. - 147 с. - Текст : непосредственный. Элементная база микро-и наноэлектроники:физика и технология : сборник / Московский ин-т электронной техники, 1994. - 179 c. - Текст : непосредственный. Наноэлектроника / под ред. А. А. Орликовского. Ч. 1 : Введение в наноэлектронику, 2009. - 719 с. - Текст : непосредственный. Асеев А.Л. Наука: каменистые тропы и сияющие вершины : сборник / А. Л. Асеев, 2016. - 404 с. - Текст : непосредственный. Борисенко В.Е. Наноэлектроника : учебное пособие / В. Е. Борисенко, А. И. Воробьева, Е. А. Уткина, 2009. - 223 с. - Текст : непосредственный. Гаврилов С.А. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : выставочные материалы / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов, 2014. - 239 с. - Текст : непосредственный. Глухова О.Е. Основы углеродной наноэлектроники : учеб. пособие для студентов по направлениям подгот. бакалавров 11.03.03 - "Конструирование и технология электрон. средств" и 03.03.03 - "Радиофизика". Ч. 1 : Молекулярные наноструктуры, 2015. - 80 с. - Текст : непосредственный. Ковалев А.Н. Наноэлектроника: основные материалы, методы выращивания и приборы / А. Н. Ковалев, О. И. Рабинович, В. Н. Мурашев, 2015. - 254 с. - Текст : непосредственный. Лозовский В.Н. Нанотехнология в электронике. Введение в специальность : учебное пособие / В. Н. Лозовский, Г. С. Константинова, С. В. Лозовский, 2008. - 327 с. - Текст : непосредственный. Гетеромагнитная микроэлектроника : сб. науч. тр. / ПАО "Тантал" [и др.]; под ред. А. В. Ляшенко. Вып. 20 : Теоретические и экспериментальные исследования, компьютерные технологии. Методические аспекты физического образования. Экономика в промышленности, 2016. - 147 с. - Текст : непосредственный. Сергеев В.А. Элементы и устройства наноэлектроники : выставочные материалы / В. А. Сергеев, 2016. - 137 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Показать все результаты Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика : материалы временных коллективов, 2014. - 240 с. - Текст : непосредственный. Орлова М.Н. Наноэлектроника : выставочные материалы / М. Н. Орлова, И. В. Борзых, 2013. - 49 с. (Введено оглавление). - Текст : непосредственный. Моделирование формирования глубоких структур в плазменных процессах микро-нанотехнологии : выставочные материалы / И. И. Амиров, В. Ф. Лукичев, А. А. Мельников, А. С. Шумилов, 2013. - 35 с. - Текст : непосредственный. Гетеромагнитная микроэлектроника : Сб. науч. тр. / Рос. агентство по системам упр. Вып. 10 : Гетеромагнитная микро- и наноэлектроника. Прикладные аспекты. Экономика. Методические аспекты физического образования / под ред. А. В. Ляшенко, 2011. - 147 с. - Текст : непосредственный. Тарасов И.А. Развитие методики эллипсометрического контроля параметров наноструктур Fe/Si в процессе роста : специальность 01.04.01 "Приборы и методы экспериментальной физики" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / И. А. Тарасов, 2014. - 19 с. - Текст : непосредственный. Беседина К.Н. Разработка методов управляемого формирования и исследование тонкопленочных опаловых наноструктур / К. Н. Беседина, 2014. - 16 с. - Текст : непосредственный. Элементная база микро-и наноэлектроники:физика и технология : сборник / Московский ин-т электронной техники, 1994. - 179 c. - Текст : непосредственный. Манукянц А.Р. Влияние внешних воздействий на поверхностную энергию и поверхностное сопротивление металлических систем / А. Р. Манукянц, 2010. - 23 с. - Текст : непосредственный. Micro-nano technology XIII : материалы временных коллективов / Annual conference of Chinese society of micro-nano technology (13 ; 2011 ; Changchow), 2012 r=on-line. - Текст : электронный. Шмаков П.М. Спиновые явления в низкоразмерных структурах, помещенных в магнитное поле / П. М. Шмаков, 2013. - 16 с. - Текст : непосредственный. Наноэлектроника, нанофотоника и нелинейная физика : материалы временных коллективов / Саратовский гос. ун-т им. Н. Г. Чернышевского, 2016. - 272 с. - Текст : непосредственный. Асеев А.Л. Наука: каменистые тропы и сияющие вершины : сборник / А. Л. Асеев, 2016. - 404 с. - Текст : непосредственный. Борисенко В.Е. Наноэлектроника : учебное пособие / В. Е. Борисенко, А. И. Воробьева, Е. А. Уткина, 2009. - 223 с. - Текст : непосредственный. Гаврилов С.А. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники : выставочные материалы / С. А. Гаврилов, А. Н. Белов, 2014. - 239 с. - Текст : непосредственный. Моисеев К.М. Управление рельефом поверхности самоупорядоченных глобулярных микроструктур для изделий электронной техники / К. М. Моисеев, 2012. - 16 с. - Текст : непосредственный. Глухова О.Е. Основы углеродной наноэлектроники : учеб. пособие для студентов по направлениям подгот. бакалавров 11.03.03 - "Конструирование и технология электрон. средств" и 03.03.03 - "Радиофизика". Ч. 1 : Молекулярные наноструктуры, 2015. - 80 с. - Текст : непосредственный. Дунаев А.В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный. Бобринецкий И.И. Физико-технологические основы создания функциональных элементов наноэлектроники на основе квазиодномерных проводников : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / И. И. Бобринецкий, 2010. - 45 с. - Текст : непосредственный. Ковалев А.Н. Наноэлектроника: основные материалы, методы выращивания и приборы / А. Н. Ковалев, О. И. Рабинович, В. Н. Мурашев, 2015. - 254 с. - Текст : непосредственный. Лозовский В.Н. Нанотехнология в электронике. Введение в специальность : учебное пособие / В. Н. Лозовский, Г. С. Константинова, С. В. Лозовский, 2008. - 327 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
