• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Behrisch, R. Sputtering by particle bombardment / R. Behrisch, W. Eckstein ; SpringerLink (Online service). - Berlin ; Heidelberg : Springer , 2007. - on-line. - (Topics in applied physics, ISSN 0303-4216 ; 110). - URL: http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-44502-9. - ISBN 978-3-540-44502-9. - Текст : электронный.

    ГРНТИ УДК
    29.19.21539.2:539.16

    Кл.слова (ненормированные): БОМБАРДИРОВКА ЧАСТИЦАМИ -- РАСПЫЛЕНИЕ
    Доп. точки доступа:
    Eckstein, W.
    SpringerLink (Online service)

    http://dx.doi.org/10.1007/978-3-540-44502-9


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 539.2:539.16/B39-583479)








































    Шифр в сводном ЭК: 96d2d3dbdab17f8886dfcba5c8730d35



    Просмотр издания