• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Advanced surface processes for optoelectronics : сборник научных трудов / Ed. S. L. Bernasek. - Pittsburgh, Pa : Materials research soc., 1988. - IX,318 p. p. : ill. - (Symposia proceeding / Materials research soc., ISSN 0272-9172 ; n126). - ISBN 0-931837-96-0. - Текст : непосредственный.
    Библиогр. в конце гл.
    Перевод заглавия: Наука и технология изготовления микросхем:Труды симпозиума. Бостон (Массачусетс), декабрь 1986

    ГРНТИ УДК
    47.33.33621.383.002(063)

    Рубрики:
    Оптоэлектронные приборы -- Производство -- Съезды и конференции

    Кл.слова (ненормированные): ОПТОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ОПТОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР
    Доп. точки доступа:
    Bernasek, S.L.\ed.\

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/14156/126)

    Шифр в сводном ЭК: a1d254b82f9a09758b34665a72a78fc2



    Заказ фрагмента документа ₽