Полное описание

Мартынов, В. В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров. - М. : Высш. шк., 1990. - 128 c. : ил. - (Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники ; кн.8). - 21000 экз. - ISBN 5-06-001080-5. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.77.002:776(075.3)

Рубрики:
Электронолитография -- Учебники и пособия

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- ПОСОБИЕ -- ПРОИЗВОДСТВО -- УЧЕБНИК -- ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ
Доп. точки доступа:
Базаров, Т.Е.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/48395/8)

Шифр в сводном ЭК: 3b29007984b295989a066de3201f285e

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽