• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Меженный, М. В. Автоматизированный комплекс для измерения макронапряжений в кремниевых деталях / М. В. Меженный, В. А. Гребенников, Е. Б. Кульбацкий. - М. : [б. и.], 2007. - 11 с. : ил. - (Препринт / Ин-т прикладной математики им.М.В.Келдыша(Москва) ; 92 за 2007 г.). - Библиогр.: с. 11(6 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.81621.382.002:658.562(04)

    Рубрики:
    Полупроводниковые приборы -- Технический контроль

    Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРИБОР -- ТЕХНИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ
    Доп. точки доступа:
    Гребенников, В.А.
    Кульбацкий, Е.Б.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/16400/92 за 2007 г.)

    Шифр в сводном ЭК: 5b5b5c3ded7737508b44f393c4a2404a



    Заказ фрагмента документа ₽