• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Новоселов, К. П. Математическое моделирование процесса осаждения нитрида кремния из дихлоросилана и аммиака : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. П. Новоселов. - М., 2000. - 14 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 14 (3 назв.)

    ГРНТИ УДК
    45.09.37621.315.61-416.002(043)

    Кл.слова (ненормированные): Институт геологии и геофизики - Институт геотехнической
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР01-1710)











    Шифр в сводном ЭК: b7417bd49c3ab575ecf6f888995185fa



    Заказ фрагмента документа ₽