• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Савченко, В. А. Моделирование диффузионных процессов изотермической жидкофазной эпитаксии полупроводников : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Савченко. - Воронеж, 2000. - 18 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    Библиогр.:с. 16-18(18 назв.)

    ГРНТИ УДК
    29.19.31537.311.322:539.23(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР01-2868)

    Шифр в сводном ЭК: ee84c1d51c43b323c17d17313c261d5b



    Заказ фрагмента документа ₽