Полное описание
Михайлов, П. Г.
ГРНТИ УДК 47.13.11 621-181.4
Рубрики: Микросистемотехника
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-07/33755)
Шифр в сводном ЭК: 829d526ee06c25d057aadb7dd0f2cc1b
Михайлов П.Г. Микромеханические приборы, устройства и технологии / П. Г. Михайлов, 2007. - 172 с. - Текст : непосредственный. Михайлов П.Г. Стабильность микроэлектронных датчиков и технологий / П. Г. Михайлов, 2003. - 231 с. - Текст : непосредственный. Методы и средства измерения неэлектрических величин : Учеб. пособие: В 2 ч. / Пенз. гос. ун-т. Ч. 1 : Физические принципы и методы измерения неэлектрических величин / П.Г.Михайлов,С.В.Капезин,А.А.Кичкидов,Г.К.Чистова, 2003. - 110 с. - Текст : непосредственный. Технические измерения в технологии и производстве радиоэлектронной аппаратуры и измерительных систем : учеб. пособие / С. Ю. Байдаров [и др.], 2012. - 148 с. - Текст : непосредственный. Байдаров С.Ю. Технологические процессы в приборостроении. Измерение и контроль геометрических параметров деталей и узлов измерительных приборов : учеб. пособие / С. Ю. Байдаров, П. Г. Михайлов, Е. А. Мокров, 2011. - 111 с. - Текст : непосредственный. Методы и модели регулирования технологических процессов производства РЭА : Учеб.пособие / Г.К.Чистова,Е.Ф.Белоусов,А.А.Кичкидов,П.Г.Михайлов, 2002. - 145 с. - Текст : непосредственный. Михайлов П.Г. Микроэлектронные датчики : Проектирование, изготовление, диагностикаУчеб. пособие / П.Г.Михайлов,Е.Ф.Белоусов, 2001. - 87 с. - Текст : непосредственный. Виноградов М.И. Вакуумные процессы оборудование ионно-и электронно- лучевой технологии / М. И. Виноградов, Ю. П. Маишев, 1989. - 53 с. - Текст : непосредственный. Полтавцев Ю.Г. Технология обработки поверхностей в микроэлектронике / Ю. Г. Полтавцев, А. С. Князев, 1990. - 206 c. - Текст : непосредственный. Моносилан в технологии полупроводниковых материалов / Е. П. Белов, Е. Н. Лебедев, Ю. П. Григораш [и др.], 1989. - 66 с. - Текст : непосредственный. Голод С.В. Методы формирования трехмерных микро- и наноструктур на основе напряженных SiGe/Si пленок : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. В. Голод, 2006. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пичугин К.Н. Эффекты квантовой интерференции в электронном транспорте через двумерные наноструктуры : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : диссертация на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / К. Н. Пичугин, 2007. - 18 с. - Текст : непосредственный. Игонина Т.И. Технологическое обеспечение качества поверхности полупроводниковых пластин информационно-измерительных устройств / Т. И. Игонина, 2007. - 22 с. - Текст : непосредственный. Неустроев Е.П. Формирование электрически активных центров в кремнии, имплантированном ионами газов средних (-10 кэВ/а.е.м.) и высоких (1МэВ/а.е.м.) энергий, при отжигах до 1050 С : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Е. П. Неустроев, 2000. - 17 с. - Текст : непосредственный. Новиков П.Л. Моделирование процессов образования пористого кремния и гомоэпитаксии на его поверхности : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / П. Л. Новиков, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный. Моряков О.С. Сборка / О. С. Моряков, 1990. - 126 c. - Текст : непосредственный. Мартынов В.В. Литографические процессы / В. В. Мартынов, Т. Е. Базаров, 1990. - 128 c. - Текст : непосредственный. Nastasi M. Ion implantation and synthesis of materials / M. Nastasi, J. W. Mayer, 2006 r=on-line Пак М.М. Моделирование элементов нейронных сетей на основе твердотельных нанообъектов : специальность 05.13.12 "Системы автоматизации проектирования (по отраслям)" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. М. Пак, 2006. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнов А.Д. Технология приборов на арсениде галия / А. Д. Смирнов, 1994. - 48 c. - Текст : непосредственный. Анищенко Л.М. Автоматизированное проектирование и моделирование технологических процессов микроэлектроники / Л. М. Анищенко, С. Ю. Лавренюк, В. В. Петрухин, 1995. - 177 c. - Текст : непосредственный. Бондаренко Л.В. Структура и поверхностная проводимость металлических и металл-фуллереновых систем на реконструированных поверхностях Si(111) / Л. В. Бондаренко, 2012. - 22 с. - Текст : непосредственный. Жук С.В. Исследование процессов лазерного отжига полупроводников методами имитационного моделирования : специальность 05.27.05 "", 05.13.16 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Жук, 1990. - 18 с. - Текст : непосредственный. Экспериментально-теоретическое исследование процесса формирования системы кислородосодержащий преципитат-дислокационные петли / Р. В. Гольдштейн, К. Б. Устинов, П. С. Шушпанников [и др.], 2007. - 29 с. - Текст : непосредственный. Гиндин П.Д. Разработка новых технологий и оборудования на основе метода лазерного управляемого термораскалывания для обработки деталей приборостроения, микро- и оптоэлектроники : специальность 05.11.14 "Технология приборостроения" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / П. Д. Гиндин, 2010. - 43 с. - Текст : непосредственный. Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Бабанов Ю.Е. Механизмы поверхностных процессов при травлении кремния / Ю. Е. Бабанов, В. Б. Световой, 1990. - 47 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Михайлов П.Г. Микромеханические приборы, устройства и технологии / П. Г. Михайлов, 2007. - 172 с. - Текст : непосредственный. Интегрируемые с наносенсорами интерфейсы изделий микросистемной техники : выставочные материалы / О. В. Дворников, Н. Н. Прокопенко, Е. И. Старченко, С. Г. Крутчинский, 2013. - 64 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Рудяк В.Я. Современные проблемы микро- и нанофлюидики / В. Я. Рудяк, А. В. Минаков, 2016. - 296 с. - Текст : непосредственный. Micro and nano mechanical testing of materials and devices / Ed. F. Yang, 2008. - XIII, 387 p. - Текст : непосредственный. Нанотехнологическая база микросистемной техники / В. М. Башков [и др.]; под ред. О. С. Нарайкина, В. Д. Шашурина, 2007. - 51 с. - Текст : непосредственный. Dziuban J.A. Bonding in microsystem technology / J. A. Dziuban, 2006 r=on-line. - Текст : электронный. Техническая механика микросхем : учеб. пособие / В. Н. Тимофеев [и др.], 2009. - 176 с. - Текст : непосредственный. Микросистемная техника. Моделирование, технология, контроль : сб. науч. тр. / Московский гос. ин-т электрон. техники (Техн. ун-т), 2007. - 207 с. - Текст : непосредственный. Белов Л.А. Микросистемотехника в автоматизированных радиоэлектронных средствах : учеб. пособие по курсу "Автоматизир. системы контроля и упр. радиоэлектрон. средствами" для студентов, обучающихся по направлению "Радиотехника" / Л. А. Белов, 2016. - 71 с. - Текст : непосредственный. Tesar V. Pressure-driven microfluidics / V. Tesar, 2007. - XII, 410 p. - Текст : непосредственный. Смирнов В.И. Наноэлектроника, нанофотоника и микросистемная техника : учебное пособие для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.04.03 - "Конструирование и технология электронных средств", 11.03.04 - "Электроника наноэлектроника" / В. И. Смирнов, 2017. - 279 с. - Текст : непосредственный. Тимофеев В.Н. Инженерные расчеты элементов и узлов микросистемной техники : учеб. пособие / В. Н. Тимофеев, А. И. Погалов, С. В. Угольников, 2009. - 192 с. - Текст : непосредственный. Левицкий, Алексей Александрович. Проектирование микросистем. Программные средства обеспечения САПР : учеб. пособие / А. А. Левицкий, П. С. Маринушкин, 2010. - 155 с. (Введено оглавление). - Текст : непосредственный. Техническая механика микросхем : учеб. пособие / В. Н. Тимофеев [и др.], 2011. - 176 с. - Текст : непосредственный. Основы микросистемотехники : учеб. пособие / В. А. Шубарев [и др.], 2008. - 195 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Herstellung beweglicher LIGA-Mikrostrukturen durch positionierte Abformung / A. Both, W. Bacher, M. Heckele, R. Ruprecht, 1995. - III,103 S. S. - Текст : непосредственный. Евстафьев С.С. Разработка и исследование физико-технологических моделей многослойных тепловых микроактюаторов / С. С. Евстафьев, 2016. - 23 с. - Текст : непосредственный. Material- und Verfahrensentwicklung fur mikrotechnische Hochleistungsbauteile : сборник научных трудов / Zusgest. K.-H. Zum Gahr, 2001. - 144 S. - Текст : непосредственный. Micro system technologies 90 : сборник / Ed. H. Reichl, 1990. - XV,858 p. p. - Текст : непосредственный. IUTAM symposium on advances in micro- and nanofluidics / SpringerLink (Online service), 2009 r=on-line. - Текст : электронный. Быркин В.А. Корреляционные эффекты в системе несмачивающая жидкость - нанопористая среда / В. А. Быркин, 2013. - 28 с. - Текст : непосредственный. Journal of Micromechanics and Microengineering. - Журнал выходит с 1991г. r=on-line. - Текст : электронный. Entwicklung eines subtraktiven Strukturierungsverfahrens zur Herstellung von Rontgenzwischenmasken fur das LIGA-Verfahren / K. Kadel, G. Stern, R. Brossardt, W. Schomburg, 1993. - 94 S. - Текст : непосредственный. Precision assembly technologies for mini and micro products / SpringerLink (Online service), 2006 r=on-line. - Текст : электронный. Михайлов П.Г. Микромеханические приборы, устройства и технологии / П. Г. Михайлов, 2007. - 172 с. - Текст : непосредственный. Михайлов В.П. Автоматизация управления процессами сверхточного позиционирования линейных модулей реологического типа : специальность 05.13.06 "Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами(по отраслям)" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / В. П. Михайлов, 2003. - 32 с. - Текст : непосредственный. Microsystems and nanotechnology / Ed. Z. Zhou, 2012 r=on-line. - Текст : электронный. Mikrotechnik'89 : материалы временных коллективов, 1989. - 256 S. - Текст : непосредственный. Интегрируемые с наносенсорами интерфейсы изделий микросистемной техники : выставочные материалы / О. В. Дворников, Н. Н. Прокопенко, Е. И. Старченко, С. Г. Крутчинский, 2013. - 64 с. - Текст : непосредственный. Buchberger P. MIDAS.Ein wissensbasiertes System zur Unterstutzung des fertigungsgerechten Entwurfs von LIGA-Mikrostrukturen / P. Buchberger, H. Eggert, K. P. Scherer, 1997. - VI,119 S. S. - Текст : непосредственный. Нано-и микросистемная техника : Ежемес. междисциплинарный теоретический и прикладной научо-технический журн.: Журн. вып. при научно-метод. рук. Отд-ния нанотехнологий и информ. технологий Российской АН / Новые технологии, Изд-во. - Журнал выходит с 2005г. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 6990 : 5. Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik, 10./11. Febr. 2004 im Forschungszentrum Karlsruhe / Statuskolloquium des Programms Mikrosystemtechnik (5; 2004; Karlsruhe), 2004. - 18,242 S. S. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7000 : Micro-P-PIM Pulverspritzgiessen nachbearbeitungsarmer Mikroprazisionsbauteile aus Keramik und Metall : Kolloquium zum BMBF-Projekt Micro-P-PIM am 11. Febr. 2004 in der Aula des Forschungzentrums Karlsruhe, 2004. - VI,88 S. S. - Текст : непосредственный. Micro system technologies 91 : монография / Ed.: R. Krahn, H. Reichl, 1991. - 552 p. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
