• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Метлицкая, А. В. Моделирование процессов самоорганизации наноструктур при ионном распылении поверхности полупроводников / А. В. Метлицкая. - 2014. - 30 с. - Библиогр.: с. 27-30. - 80 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    29.19.31537.311.322:539.216.2(043)

    Кл.слова (ненормированные): ВРЕМЯ РАСПЫЛЕНИЯ -- УГОЛ БОМБАРДИРОВКИ -- ФОРМЫ И РАЗМЕРЫ РАСТРА
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар14-15182)

    Шифр в сводном ЭК: d6082f4cb65d38c7ecaf5d4b1ef98dda



    Заказ фрагмента документа ₽