• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Усикова, М. А. Методы сверхлокального и селективного препарирования кремниевых интегральных схем / М. А. Усикова. - 2011. - 16 с. : ил. - Библиогр.: с. 16 (9 назв.). - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.77(043)

    Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ПОСЛОЙНОЕ ПРЕПАРИРОВАНИЕ -- СОХРАНЕНИЕ РАБОТОСПОСОБНОСТИ -- ТОПОЛОГИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ -- ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар11-сф10758)









































    Шифр в сводном ЭК: 4abe5085e4fbdba38e84a5de4d41fd1e



    Заказ фрагмента документа ₽