• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Никифоров, А. И. Исследование встраивания и десорбции сурьмы в процессе легирования при молекулярно-лучевой эпитаксии кремния : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / А. И. Никифоров. - Новосибирск, 1994. - 16 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Рос.АН, Сиб.отд-ние, Ин-т физики полупроводников. Библиогр.: с.15-16 (15 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.09.29621.315.592.002:669(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР95-1267)

    Шифр в сводном ЭК: 0786f5c4e7fea8b57b26779302a787d3



    Заказ фрагмента документа ₽