• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Тимошенков, С. П. Синтез диэлектрических многокомпонентных материалов в высокочастотной плазме и исследование их свойств : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / С. П. Тимошенков. - М., 1994. - 30 с. : ил. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Моск.гос.ин-т электронной техники (техн.ун-т). Библиогр.: с.29-30 (9 назв.)

    ГРНТИ УДК
    45.09.37621.315.61(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР94-0340)

    Шифр в сводном ЭК: da9bf81505dd31da2593afd895ce59f1



    Заказ фрагмента документа ₽