• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Муратчаев, С. А. Моделирование и разработка технологических процессов и маршрутов формирования самосовмещенных биполярных транзисторных структур для сверхбыстродействующих СБИС : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / С. А. Муратчаев. - М., 1994. - 24 с. - Текст : непосредственный.
    В надзаг.: Моск.гос.ин-т электронной техники (техн.ун-т). Библиогр.: с.23-24(9 назв.)

    ГРНТИ УДК
    47.33621.382.33.001.57(043)
    47.33.31621.3.049.771.14.001.57(043)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР94-5041)

    Шифр в сводном ЭК: 7665fea96ec0863a5a733792d50009de



    Заказ фрагмента документа ₽