Полное описание

Микроструктура дефектов в имплантированных ионами высоких энергий слоях кремния при отжиге / В. С. Вариченко, П. И. Гайдук, А. Ю. Дидык, Н. М. Казючиц. - Дубна : [б. и.], 1995. - 10 c. : ил. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Р14-95-73). - 300 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.002(04)

Рубрики:
Кремний -- Отжиг

Доп. точки доступа:
Вариченко, В.С.
Гайдук, П.И.
Дидык, А.Ю.
Казючиц, Н.М.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/2509/Р14-95-73)

Шифр в сводном ЭК: 36aef09ce36d51eb856ad420740386bb

Заказать
Заказ фрагмента документа ₽