• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Микроструктура дефектов в имплантированных ионами высоких энергий слоях кремния при различных температурах отжига в вакууме / В. С. Вариченко, П. И. Гайдук, А. Ю. Дидык, Н. М. Казючиц. - Дубна : [б. и.], 1995. - 6 c. : ил. - (Препринт / Объединенный ин-т ядерных исследований(Дубна) ; Р14-95-74). - 300 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.09.29621.315.592.002(04)

    Рубрики:
    Кремний -- Отжиг

    Доп. точки доступа:
    Вариченко, В.С.
    Гайдук, П.И.
    Дидык, А.Ю.
    Казючиц, Н.М.

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/2509/Р14-95-74)

    Шифр в сводном ЭК: 5221b5ca937f4fdec2654993205730b0



    Заказ фрагмента документа ₽