• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Горностай-Польский, Вадим Станиславович. Конструктивно-технологические решения формирования элементов металлизации силовых МДП-транзисторных структур с вертикальным каналом с топологическими нормами 0,25 мкм : специальность 2.2.2. Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Горностай-Польский Вадим Станиславович ; Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Институт интегральной электроники имени К. А. Валиева. - Москва, 2026. - 24 с. : ил. - Библиогр.: с. 21-23 (10 назв.). - 80 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.33.31621.3.049.771.14-047.84:621.793(043)
    47.33621.382.323(043)

    Рубрики:
    Интегральные схемы большие -- Металлизация
    МДП-транзисторы

    Доп. точки доступа:
    "МИЭТ", национальный исследовательский университет (Москва). Институт интегральной электроники имени К. А. Валиева

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар26-3046)

    Шифр в сводном ЭК: 8DB44E1A47B9FDFB959AA43B25619205



    Заказ фрагмента документа ₽