• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Нелюбин, Илья Вадимович. Исследование и разработка комплекса неразрушающих методик контроля трехмерного профиля элементов наноразмерных ИС : специальность: 2.2.2. Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Нелюбин Илья Вадимович ; Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Институт интегральной электроники имени К. А. Валиева. - Москва, 2025. - 22 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 19-21. - 80 экз. - Текст : непосредственный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.81621.3.049.77:658.562(043)
    47.33.31

    Рубрики:
    Интегральные схемы -- Технический контроль

    Доп. точки доступа:
    "МИЭТ", национальный исследовательский университет (Москва). Институт интегральной электроники имени К. А. Валиева

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар26-2409)

    Шифр в сводном ЭК: A018AEBF12D5F9E8CFBCDB1F14AAA143



    Заказ фрагмента документа ₽