Полное описание
Буторин, Павел Сергеевич .
ГРНТИ УДК 47.13.33 621.3.049.77-047.84:776(043)
Рубрики: Электронолитография
Кл.слова (ненормированные): ЛАЗЕРНАЯ ПЛАЗМА -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- НАНОЛИТОГРАФЫ -- ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ -- УЛЬТРАФИОЛЕТОВЫЕ ЛУЧИ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ
Доп. точки доступа: Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (Санкт-Петербург)
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар26-2078)
Шифр в сводном ЭК: 4dfdf16685da1535c1d3fd18d49333d7
Журнал технической физики / Рос. акад. наук. Физ.-техн. ин-т им. А. Ф. Иоффе. - Журнал выходит с 1931г. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Аморфные и микрокристаллические полупроводники : сборник трудов Международной конференции, 19-21 ноября 2018 года, Санкт-Петербург / Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 2018. - 303 с. - Текст : непосредственный. Международная зимняя школа по физике полупроводников, 2019, С.-Петербург - Зеленогорск, 28 февраля - 4 марта 2019 года : научная программа и тезисы докладов / Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 2019. - 47 с. - Текст : непосредственный. Международная зимняя школа по физике полупроводников, 2019, С.-Петербург - Зеленогорск, 28 февраля - 4 марта 2019 года : научные сообщения молодых ученых / Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 2019. - 59 с. - Текст : непосредственный. Степанов А.В. Основы практической прочности кристаллов / А. В. Степанов; [ответственный редактор академик Г. В. Курдюмов], 1974. - 132 с. - Текст : непосредственный. Бахарев Н.Н. Быстрые частицы в сферическом токамаке "Глобус-М" / Н. Н. Бахарев, 2017. - 102 с. - Текст : непосредственный. Международная зимняя школа по физике полупроводников, 2018 : научная программа и тезисы докладов: 1-5 марта 2018 года, С.-Петербург - Зеленогорск / Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 2018. - 36 с. - Текст : непосредственный. Международная зимняя школа по физике полупроводников, 2018 : научные сообщения молодых ученых: 1-5 марта 2018 года, С.-Петербург - Зеленогорск / Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 2018. - 55 с. - Текст : непосредственный. Физтех и советский атомный проект / Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе, 2018. - 660 с. - Текст : непосредственный. Тупицын И.И. Применение теории групп в физике твердого тела : для обучающихся по направлению Физика: учебно-методическое пособие / И. И. Тупицын, В. П. Кочерешко, 2018. - 129 с. - Текст : непосредственный. Физико-химические проблемы возобновляемой энергетики : сборник трудов российской конференции, 20-22 ноября 2017 года, Санкт-Петербург / Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 2017. - 204 с. - Текст : непосредственный. Лодыгин А.Н. Исследование ИК преобразователя изображений на основе кремния, легированного платиной / А. Н. Лодыгин, Л. Г. Парицкий, З. Хайдаров, 1991. - 24 с. - Текст : непосредственный. Физика и химия стекла. - Журнал, 2002г. т. 28 № 2. - Текст : непосредственный. ФизикА.СПб : тезисы докладов международной конференции [по физике и астрономии], 22-24 октября 2019 года, [Санкт-Петербург] / Организатор ФТИ им. А. Ф. Иоффе, 2019. - 575 с. - Текст : непосредственный. Физика - наукам о жизни : третья международная конференция со школой молодых ученых, 14-18 октября 2019: тезисы докладов / составители и технические редакторы: Е. А. Ефремова [и др.], 2019. - 214 с. - Текст : непосредственный. Письма в Журнал технической физики / Российская академия наук, Физико-технический институт имени А. Ф. Иоффе (Санкт-Петербург). - Журнал выходит с 1975г. - Текст : непосредственный. Физика твердого тела / Российская академия наук (Москва), Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (Санкт-Петербург). - Журнал выходит с 1959г. - Текст : непосредственный. Оптика и спектроскопия / Российская академия наук, Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе (Санкт-Петербург). - Журнал выходит с 1956г. - Текст : непосредственный. Международная зимняя школа по физике полупроводников, 2020, С.-Петербург - Зеленогорск, 27 февраля - 2 марта 2020 года : научные сообщения молодых ученых / Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе Российской академии наук, 2020. - 66 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Frey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный. Зятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный. Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный. Трунин Д.А. Физико-технические основы систем переноса изображения на эффекте обращения волнового фронта для микроэлектронной технологии : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Д. А. Трунин, 2003. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнова Н.А. Разработка технологии изготовления подложек CdZnTe для выращивания гетероструктур CdHgTe/CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии : специальность 05.17.01 "Технология неорганических веществ" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. А. Смирнова, 2007. - 24 с. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный. Молодечкина Т.В. Формирование легированных оксидов титана термолизом алкоксисоединений для компонентов электронной техники / Т. В. Молодечкина, 2004. - 21 с. - Текст : непосредственный. Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный. Кузнецов Г.Д. Ионно-плазменная обработка материалов : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, 2008. - 179 с. - Текст : непосредственный. Смирнов В.А. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ii : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Смирнов, 2008. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пархутик В.П. Плазменное анодирование : монография / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов, 1990. - 280 c. - Текст : непосредственный. Бордусов С.В. Процессы и устройства СВЧ плазмохимиче ского удаления материалов при формировании изделий электронной техники : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / С. В. Бордусов, 2003. - 41 с. - Текст : непосредственный. Шипатов Э.Т. Ионно-лучевая модификация свойств металлов, сверхпроводников и пленок ферритов-гранатов : учебное пособие / Э. Т. Шипатов, 2007. - 111 с. - Текст : непосредственный. Ito H. Microlithography в· molecular imprinting / H. Ito, 2005 r=on-line. - Текст : электронный. Авдиенко А.А. Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. А. Авдиенко, 2004. - 30 c. - Текст : непосредственный. Григорьев Д.В. Радиационное дефектообразование при ионной имплантации в варизонных полупроводниковых структ урах Cd Hg Te, выращенных мет одом молекулярно-лучевой эпитаксии / Д. В. Григорьев, 2005. - 24 с. - Текст : непосредственный. Гниденко А.А. Исследование влияния давления на поведение гелия и водорода в кристаллическом кремнии / А. А. Гниденко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный. Ion beam processing of advanced electronic materials : сборник научных трудов / Ed. N. W. Cheung, 1989. - XI, 401 p. 401 p. - Текст : непосредственный. Хмельницкий Р.А. Радиационное повреждение и графитизация алмаза при ионной имплантации / Р. А. Хмельницкий, 2008. - 19 с. - Текст : непосредственный. Дунаев А.В. Кинетика и механизмы взаимодействия неравновесной низкотемпературной плазмы хлора и хлороводорода с алюминием и арсенидом галлия / А. В. Дунаев, 2011. - 16 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Моро У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. Ч. 1Ч.1 / У. Моро, 1990. - 606 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 9 : Методы литографии в наноинженерии / В. В. Макарчук, И. А. Родионов, Ю. Б. Цветков, 2011. - 175 с. - Текст : непосредственный. Наноинженерия : библиотека: учеб.-метод. комплекс по темат. направлению деятельности ННС "Наноинженерия": в 17-ти кн. / под ред. В. А. Шахнова. 8 : Физико-механические компоненты наносистем / Ю. В. Панфилов, В. М. Утенков, В. П. Михайлов, 2011. - 182 с. - Текст : непосредственный. Hiroshima H. Sinopsis / H.Hiroshima, 2000. - II,55 p. p. - Текст : непосредственный. Advances in polymer science / ed. A. Abe [et al.]. 172 : Microlithography molecular imprinting / with contributions by H. Ito, J. D. Marty, M. Mauzak, 2005. - 276 p. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7286 : Nanokontaktdrucken mit AFM-gesteuert phasenseparierten Blockcopolymerschichten : Diss. / R. Groger, 2007. - VI, 130 S. - Текст : непосредственный. Валиев К.А. Физика субмикронной литографии / К.А.Валиев, 1990. - 528 c. - Текст : непосредственный. Исследование численных моделей рассеяния электронов в твердой мишени применительно к высокоэнергетической электронной литографии / М.В.Силаков,Г.А.Бабушкин,К.А.Валиев и др, 2003. - 64 с. - Текст : непосредственный. Лыньков Л.М. Субмикронная литография / Л.М.Лыньков,С.Л.Прищепа, 1999. - 205 с. - Текст : непосредственный. Марголин В.И. Основы нанотехнологии. Электронная литография и ионная имплантация : Учеб.пособие / В.И.Марголин,В.А.Тупик, 2000. - 55 с. - Текст : непосредственный. Гайфуллин Б.Н. Система подготовки данных для электронно-лучевой литографии : Препринт / Б.Н.Гайфуллин, 1993. - 20 c. - Текст : непосредственный. Моро, У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. Ч. 2, 1990. - С.613-1239. - Текст : непосредственный. Сейсян, Рубен Павлович. Нанолитография в экстремальном ультрафиолете и мягком рентгене / Р. П. Сейсян, 2024. - 133 с. - Текст (визуальный) : непосредственный. Буторин, Павел Сергеевич. Эффективный плазменный источник излучения экстремального ультрафиолетового диапазона с длиной волны λ=11.2 им для нанолитографии: особенности физических процессов и методы управления интенсивностью : 1.3.6. оптика: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Буторин Павел Сергеевич, 2025. - 32 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Коробко Ю.О. Формирование субмикронных КМОП структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.01 / Ю.О. Коробко, 2005. - 22 с. - Текст : непосредственный. Калитеевская Н.А. Взаимодействие вакуумного ультрафиолетового излучения эксимерных лазеров с тонкими пленками неорганических соединений : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук :01.04.10 / Н. А. Калитеевская, 2001. - 22 с. - Текст : непосредственный. Mulder E.H. On the throuhput optimization of electron beam lithography systems : Diss. / E.H.Mulder, 1991. - Pag.var. - Текст : непосредственный. Ююкин Н.В. Моделирование и алгоритмизация управления роботизированными модульно-кластерными комплексами в технологических процессах фотолитографии : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.13.06 / Н. В. Ююкин, 2006. - 16 с. - Текст : непосредственный. Марголин В.И. Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 05.27.01 / В. И. Марголин, 1998. - 29 с. - Текст : непосредственный. Никулина Е.А. Измерение топографии двулучепреломления в кристаллах флюорита и исследование его влияния на качество изображения проекционных фотолитографических систем : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.11.07 / Е. А. Никулина, 2016. - 18 с. - Текст : непосредственный. Назина Л.И. Модели синтеза устройства ориентации полупроводниковых пластин в условиях воздействия встречных газовых потоков : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук: 05.13.16; 05.13.01 / Л. И. Назина, 2000. - 24 с. - Текст : непосредственный. Семин Ю.Ф. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук:05.27.07 / Ю. Ф. Семин, 1998. - 16 с. - Текст : непосредственный. Филатова М.С. Синтез оптимальных шаблонов для рентгенолитографии в пучках синхротронного излучения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук:05.27.01 / М. С. Филатова, 1996. - 23 с. - Текст : непосредственный. Домненко В.М. Математическое моделирование формирования фотолитографического изображения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн.наук:05.11.07 / В. М. Домненко, 1999. - 18 с. - Текст : непосредственный. Суханов Я.Н. Экспериментальное исследование параметров низкотемпературной плазмы в плазмохимических реакторах для микро- и наноэлектроники : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.08, 01.04.04 / Я. Н. Суханов, 2005. - 19 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
