Приложение
для AndroidПолное описание
| ГРНТИ | УДК | |
| 81.13.30 | 620.3 |
Рубрики:
Нанотехнологии
Кл.слова (ненормированные): ДИЭЛЕКТРИКИ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- КЕРАМИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ -- МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОЛИЗЕРЫ
Аннотация: Рассмотрены основные темы практических и лабораторных занятий по курсу "Процессы микро- и нанотехнологии". Приводятся основные теоретические модели, позволяющие описать физические явления, происходящие при изготовлении керамических мишеней, осаждении тонкопленочных покрытий, а также формировании топологий устройств. Дается краткое описание физических моделей корпускулярного взаимодействия с твердым телом и аналитического подхода к рассмотрению физических процессов, протекающих при осаждении и травлении пленок в результате ионно-плазменного распыления. Приведена методика расчета технологических режимов процесса осаждения и доращивания пленок, на основе которого составляются рекомендации для реальных технологических процессов. Содержатся необходимые справочные сведения и характеристики элементов для проведения расчетов. Предназначено для подготовки магистров по образовательным программам "Физическая электроника" и "Радиофотоника" по направлению 210100 "Электроника и микроэлектроника". Может быть полезно аспирантам и научным работникам, специализирующимся в области технологии создания устройств электроники и радиофотоники.
Доп. точки доступа:
Витько, Виталий Валерьевич
Гагарин, Александр Геннадьевич
Мыльников, Иван Леонидович
Буровихин, Антон Павлович
Еськов, Андрей Владимирович
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-25/43482)
Шифр в сводном ЭК: 2bf2da311f26b64d44024c02931dec2f
Компьютерные технологии в разработке устройств радиофотоники : учебное пособие / В. В. Витько, В. В. Перепеловский, Н. И. Михайлов, А. А. Семенов, 2020. - 81 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Электродинамика : учебно-методическое пособие / С. П. Зубко, Н. Ю. Медведева, В. В. Витько [и др.], 2021. - 31, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Витько, Виталий Валерьевич. Теория кольцевых радиофотонных резонаторов для разработки перестраиваемых оптоэлектронных СВЧ-генераторов / В. В. Витько, А. А. Никитин, А. Б. Устинов, 2022. - 124, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Распространение электромагнитных волн в неограниченном пространстве : конспект лекций: учебное пособие / С. П. Зубко, А. В. Дроздовский, В. В. Витько [и др.], 2022. - 94 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Электродинамика : учебно-методическое пособие / С. П. Зубко, А. Г. Алтынников, В. В. Витько [и др.], 2023. - 35, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Электромагнитные волны в направляющих системах : учебно-методическое пособие / С. П. Зубко, В. В. Витько, А. Г. Алтынников [и др.], 2023. - 31 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Наноструктурированные композиты на основе диоксида кремния для микро- и оптоэлектроники / В. Е. Гайшун, Я. А. Косенок, А. В. Еськов [и др.], 2024. - 145, [1] с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Процессы микро- и нанотехнологий : учебное пособие / В. В. Витько, А. Г. Гагарин, И. Л. Мыльников [и др.], 2025. - 113 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.
Владимирова М.П. Деньги, кредит, банки / М. П. Владимирова, А. И. Козлов, Е. П. Шпаковская ; Ред. Л. И. Гончаренко, 2007. - 285 с. - Текст : непосредственный.Попков В.П. Оценка бизнеса. Схемы и таблицы : учебное пособие / В. П. Попков, Е. В. Евстафьева, 2007. - 236 с. - Текст : непосредственный.Гречуха В.Н. Правовые основы международных перевозок пассажиров и грузов. 1 : Учебное пособие, 2007. - 559 с. - Текст : непосредственный.Крашенинников В.Р. Основы теории обработки изображений / В. Р. Крашенинников, 2003. - 152 с. - Текст : непосредственный.Смирнов Б.И. Микропроцессорные устройства : выставочные материалы / Б. И. Смирнов, 2014. - 122 с. - Текст : непосредственный.Анухин В.И. Допуски и посадки : учебное пособие / В. И. Анухин, 2008. - 207 с. - Текст : непосредственный.Рябцева Н.Н. Современные проблемы прикладной математики : выставочные материалы / Н. Н. Рябцева, И. В. Колосова, 2016. - 114 с. - Текст : непосредственный.Афонин П.Н. Ценообразование во внешней торговле : выставочные материалы / П. Н. Афонин, Е. В. Дробот, 2016. - 230 с. - Текст : непосредственный.Мартынюк В.Ф. Лекции по теории горения и взрыва : выставочные материалы / В. Ф. Мартынюк, 2014. - 184 с. - Текст : непосредственный.Каморджанова Н.А. Бухгалтерский финансовый учет : выставочные материалы / Н. А. Каморджанова, И. В. Карташова, А. П. Шабля, 2015. - 476 с. - Текст : непосредственный.Малышев, Вениамин Васильевич. Математическое моделирование управляемого движения космических аппаратов : учебное пособие / В. В. Малышев, В. Е. Усачов, 1994. - 83 c. - Текст : непосредственный.Ивашкевич В.Б. Бизнес-задачи, решения и расчеты в управленческом учете : выставочные материалы / В. Б. Ивашкевич, 2015. - 159 с. - Текст : непосредственный.Тимошина Т.М. Экономическая история зарубежных стран / Т. М. Тимошина, 2003. - 495 с. - Текст : непосредственный.Рябцева Н.Н. Прикладная математика : выставочные материалы / Н. Н. Рябцева, 2015. - 98 с. - Текст : непосредственный.Ткаченко М.Ф. Основы внешнеэкономической деятельности : выставочные материалы / М. Ф. Ткаченко, И. И. Шатская, 2016. - 231 с. - Текст : непосредственный.Томилов В.В. Культура предпринимательства / В. В. Томилов, 2001. - 173 с. - Текст : непосредственный.Евстигнеев Е.Н. Налоги и налогообложение : учебное пособие / Е. Н. Евстигнеев, 2008. - 304 с. - Текст : непосредственный.Сервисная деятельность : монография / С. Н. Коробкова, В. И. Кравченко, С. В. Орлов, И. П. Павлова ; Ред. В. Романович, 2005. - 155 с. - Текст : непосредственный.Горелова Н. Антикризисное управление человеческими ресурсами : учебное пособие / Н. А. Горелов, О. Н. Мельников, Е. Г. Абрамов [и др.], 2010. - 428 с. - Текст : непосредственный.Малоземов В.В. Хозяйственная и космическая экология / В. В. Малоземов, Г. И. Морозов, 2003. - 110 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыГорячев А.В. Эволюционные методы анализа и синтеза проектных решений / А. В. Горячев, Н. Е. Новакова, 2016. - 159 с. - Текст : непосредственный.Бруслиновский Б.В. Нелинейные системы управления : учебное пособие / Б. В. Бруслиновский, Н. А. Доброскок, А. В. Морозов, 2017. - 88 с. - Текст : непосредственный.Горелая А.В. Физические основы получения информации оптическими методами : учебное пособие / А. В. Горелая, Ю. В. Филатов, 2016. - 60 с. - Текст : непосредственный.Чурганова С.С. Оптика и атомная физика : учебное пособие / С. С. Чурганова, И. А. Черемухина, 2017. - 56 с. - Текст : непосредственный.Иванов С.Г. Лекции по линейной алгебре и геометрии : учебное пособие / С. Г. Иванов, Е. А. Толкачева, А. В. Чирина, 2017. - 32 с. - Текст : непосредственный.Виолина Г.Н. Физика полупроводников / Г. Н. Виолина, В. И. Зубков, 2017. - 106 с. - Текст : непосредственный.Нисковский А.В. Проектирование и администрирование сетей : учебное пособие / А. В. Нисковский, А. А. Андреева, 2016. - 54 с. - Текст : непосредственный.Лавренко Ю.Е. История радиотехники : учебное пособие / Ю. Е. Лавренко, М. Т. Иванов, 2017. - 111 с. - Текст : непосредственный.Статистическая теория радиотехнических и телекоммуникационных систем : учебное пособие : [в 3 ч.] / Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" имени В. И. Ульянова (Ленина). Ч. 2 / О. М. Андреева [и др.], 2017. - 234 с. - Текст : непосредственный.Жукова Т.Н. Управление проектами в условиях неопределенности : учебное пособие / Т. Н. Жукова, 2017. - 51 с. - Текст : непосредственный.Воробьев С.В. Основные понятия, положения и уравнения механики твердого деформированного тела : учебное пособие / С. В. Воробьев, О. П. Кормилицын, 2018. - 31, [1] с. - Текст : непосредственный.Типовые расчеты по различным разделам высшей математики : учебное пособие / А. Л. Белопольский, Н. Г. Гоголева, С. А. Колбина [и др.], 2018. - 78, [1] с. - Текст : непосредственный.Абрамова М.Н. Интегральное исчисление функции одной переменной : учебное пособие / М. Н. Абрамова, В. Г. Казакевич, Е. А. Толкачева, 2017. - 31 с. - Текст : непосредственный.Воронова А.А. Применение программной среды LabVIEW для моделирования процессов в сетевых технологиях : учебное пособие / А. А. Воронова, А. В. Воронов, И. Р. Кузнецов, 2018. - 61 с. - Текст : непосредственный.Воробьев Е.Г. Планирование защиты и контроля безопасности информации в компании в терминах, таблицах и рисунках : учебное пособие / Е. Г. Воробьев, А. К. Племянников, В. Н. Сабынин, 2017. - 36 с. - Текст : непосредственный.Копыльцов А.А. Модели и алгоритмы слабоформализованных объектов и процессов / А. А. Копыльцов, А. В. Копыльцов, 2016. - 162 с. - Текст : непосредственный.Антенны и распространение радиоволн : учебное пособие / В. С. Алексеев, С. В. Балландович, С. В. Грачев [и др.], 2018. - 107 с. - Текст : непосредственный.Бугров А.Н. Полимер-неорганические материалы биомедицинского назначения. Особенности формирования, структура и свойства : учебное пособие / А. Н. Бугров, А. И. Шуклина, 2017. - 51 с. - Текст : непосредственный.Илюшов Г.С. Модели пассивных компонентов в среде схемотехнического проектирования Micro-Cap 9 : учебное пособие / Г. С. Илюшов, 2017. - 55 с. - Текст : непосредственный.Виртуальное символьное проектирование параметризованных фрагментов КМОП БИС / И. С. Зуев, С. Э. Миронов, Н. М. Сафьянников, А. Б. Максимов, 2016. - 1 o=электрон. опт. диск (CD-ROM). - Текст : электронный.
Показать все результатыДадинова Л.А. Малоугловое рентгеновское рассеяние в исследовании трехмерных структур бионанокомпозитов на основе ДНК и ряда белков, участвующих в катаболизме Escherichia coli в стационарной фазе роста / Л. А. Дадинова, 2016. - 24 с. - Текст : непосредственный.Синтез, свойства и применение графенов и слоистых наносистем : материалы временных коллективов, 2011. - 71 с. - Текст : непосредственный.Основы нанотехнологий : учебное пособие / Т. И. Абдуллин, Е. Ю. Акшаева, Т. И. Волкова [и др.] ; Ред. А. Ф. Дресвянников, 2011. - 236 с. - Текст : непосредственный.Воробьев А.Е. Импортозамещающие нанотехнологии в топливно-энергетическом комплексе России : выставочные материалы / А. Е. Воробьев, А. Д. Гладуш, 2014. - 158 с. - Текст : непосредственный.Self-assemble, patttern formation and growth phenomena in nano-systems / SpringerLink (Online service), 2006 r=on-lineMolecular building blocks for nanotechnology / SpringerLink (Online service), 2007 r=on-lineElectron correlation in new materials and nanosystems / SpringerLink (Online service), 2007 r=on-lineNanostructured soft matter / SpringerLink (Online service), 2007 r=on-lineГенералов М.Б. Криохимическая нанотехнология / М. Б. Генералов, 2006. - 325 с. - Текст : непосредственный.Ковалев А.И. Прогнозирование рынка нанопродуктов / А. И. Ковалев, 2013. - 182 с. - Текст : непосредственный.Micro-and nanoengineering 95 : материалы временных коллективов / Ed. J. Perrocheau, 1996. - XVIII,626 p. p. - Текст : непосредственный.Физико-химические процессы синтеза наноразмерных объектов / В. А. Жабрев, В. Т. Калинников, В. И. Марголин [и др.], 2012. - 327 с. - Текст : непосредственный.Шевердяев О.Н. Нанотехнология и наноматериалы : выставочные материалы / О. Н. Шевердяев, И. М. Ибрагимов, 2012. - 122 с. - Текст : непосредственный.Нанонаука и нанотехнологии. Энциклопедия систем жизнеобеспечения / Пер. Н. Н. Выхристенко ; Ред. О. Осама, 2015. - 1000 с. - Текст : непосредственный.Арсланов В.В. Нанотехнология. Коллоидная и супрамолекулярная химия / В. В. Арсланов, 2015. - 387, [13] с. - Текст : непосредственный.Наноинженерия-2011 : материалы временных коллективов, 2011. - 226 с. - Текст : непосредственный.Перспективные направления развития нанотехнологий в ДВО РАН : сборник / Рос. АН. Дальневосточ. отд-ние. Т. 4, 2011. - 229 с. - Текст : непосредственный.Journal of Computational and Theoretical Nanoscience. - Журнал выходит с 2004г. - Текст : электронный.Journal of Nanoscience and Nanotechnology. - Журнал выходит с 2001г.Nanoscience and Nanotechnology Letters. - Журнал выходит с 2009г.
Показать все результатыWissenschaftsethik und Technikfolgenbeurteilung. Bd. 27 : Nanotechnology : assesment and perspectives / H. Brune [et al.], 2006. - 492 p. - Текст : непосредственный.Генералов М.Б. Криохимическая нанотехнология / М. Б. Генералов, 2006. - 325 с. - Текст : непосредственный.Физико-химические процессы синтеза наноразмерных объектов / В. А. Жабрев, В. Т. Калинников, В. И. Марголин [и др.], 2012. - 327 с. - Текст : непосредственный.Шевердяев О.Н. Нанотехнология и наноматериалы : выставочные материалы / О. Н. Шевердяев, И. М. Ибрагимов, 2012. - 122 с. - Текст : непосредственный.Перспективные направления развития нанотехнологий в ДВО РАН : сборник / Российская академия наук. Дальневосточное отделение. Т. 2, 2009. - 199 с. - Текст : непосредственный.Перспективные направления развития нанотехнологий в ДВО РАН : сборник / Рос. АН. Дальневосточ. отд-ние. Т. 4, 2011. - 229 с. - Текст : непосредственный.Мансури Г.А. Принципы нанотехнологии. Исследование конденсированных веществ малых систем на молекулярном уровне / Г. А. Мансури, 2008. - 317 с. - Текст : непосредственный.Рамбиди Н.Г. Физические и химические основы нанотехнологий / Н. Г. Рамбиди, А. В. Березкин, 2008. - 454 с. - Текст : непосредственный.Технологии углеродных материалов и структур в наноинженерии : выставочные материалы / К. А. Воротилов, Е. Н. Ивашов, П. С. Кузнецов, П. А. Лучников, 2015. - 162 с. - Текст : непосредственный.Нанотехнологии в Тюменской области: проблемы правовой охраны и коммерциализации : материалы временных коллективов, 2009. - 120 с. - Текст : непосредственный.Balaz P. Mechanochemistry in nanoscience and minerals engineering / P. Balaz, 2008 r=on-line. - Текст : электронный.Петров Е.А. Детонационный синтез наноматериалов. Наноалмазы и нанотехнологии : монография / Е. А. Петров, 2015. - 259 с. - Текст : непосредственный.Попов А.М. Вычислительные нанотехнологии : учебное пособие / А. М. Попов, 2009. - 280 с. - Текст : непосредственный.Нанотехнологии и наноматериалы Пермского края : сборник / Пермский центр науч.-технической информации, 2009. - 106 с. - Текст : непосредственный.Современные проблемы нанотехнологии : учебное пособие / А. А. Попович, И. Н. Мутылина, Т. А. Попович, В. В. Андреев, 2008. - 404 с. - Текст : непосредственный.Фесюн А.В. Становление наноиндустрии в России: причины, проблемы, перспективы / А. В. Фесюн, 2014. - 411 с. - Текст : непосредственный.Laurencin C.T. Nanotechnology and tissue engineering: The scaffold / C. T. Laurencin, L. S. Nair, 2008. - XVII, 359 p. - Текст : непосредственный.Hybrid nanocomposites for nanotechnology. Electronic, optical, magnetic and biomedical applications / Ed. L. Merhari, 2009. - XII, 847 p. - Текст : непосредственный.Ashby M. F. Nanomaterials, nanotechnologies and design. An introduction for engineers and architects / M. F. Ashby, P. Ferreira, D. L. Schodek, 2009. - XIX, 540 p. - Текст : непосредственный.Наноинженерия : сборник / Московский гос. технический ун-т им. Н. Э. Баумана, 2010. - 212 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыДадинова Л.А. Малоугловое рентгеновское рассеяние в исследовании трехмерных структур бионанокомпозитов на основе ДНК и ряда белков, участвующих в катаболизме Escherichia coli в стационарной фазе роста / Л. А. Дадинова, 2016. - 24 с. - Текст : непосредственный.Wissenschaftsethik und Technikfolgenbeurteilung. Bd. 27 : Nanotechnology : assesment and perspectives / H. Brune [et al.], 2006. - 492 p. - Текст : непосредственный.Основы нанотехнологий : учебное пособие / Т. И. Абдуллин, Е. Ю. Акшаева, Т. И. Волкова [и др.] ; Ред. А. Ф. Дресвянников, 2011. - 236 с. - Текст : непосредственный.Self-assemble, patttern formation and growth phenomena in nano-systems / SpringerLink (Online service), 2006 r=on-lineMolecular building blocks for nanotechnology / SpringerLink (Online service), 2007 r=on-lineElectron correlation in new materials and nanosystems / SpringerLink (Online service), 2007 r=on-lineГенералов М.Б. Криохимическая нанотехнология / М. Б. Генералов, 2006. - 325 с. - Текст : непосредственный.Micro-and nanoengineering 95 : материалы временных коллективов / Ed. J. Perrocheau, 1996. - XVIII,626 p. p. - Текст : непосредственный.Физико-химические процессы синтеза наноразмерных объектов / В. А. Жабрев, В. Т. Калинников, В. И. Марголин [и др.], 2012. - 327 с. - Текст : непосредственный.Шевердяев О.Н. Нанотехнология и наноматериалы : выставочные материалы / О. Н. Шевердяев, И. М. Ибрагимов, 2012. - 122 с. - Текст : непосредственный.Нанонаука и нанотехнологии. Энциклопедия систем жизнеобеспечения / Пер. Н. Н. Выхристенко ; Ред. О. Осама, 2015. - 1000 с. - Текст : непосредственный.Арсланов В.В. Нанотехнология. Коллоидная и супрамолекулярная химия / В. В. Арсланов, 2015. - 387, [13] с. - Текст : непосредственный.Перспективные направления развития нанотехнологий в ДВО РАН : сборник / Российская академия наук. Дальневосточное отделение. Т. 2, 2009. - 199 с. - Текст : непосредственный.Наноинженерия-2011 : материалы временных коллективов, 2011. - 226 с. - Текст : непосредственный.Перспективные направления развития нанотехнологий в ДВО РАН : сборник / Рос. АН. Дальневосточ. отд-ние. Т. 4, 2011. - 229 с. - Текст : непосредственный.Journal of Computational and Theoretical Nanoscience. - Журнал выходит с 2004г. - Текст : электронный.Journal of Nanoscience and Nanotechnology. - Журнал выходит с 2001г.Nanoscience and Nanotechnology Letters. - Журнал выходит с 2009г.Мансури Г.А. Принципы нанотехнологии. Исследование конденсированных веществ малых систем на молекулярном уровне / Г. А. Мансури, 2008. - 317 с. - Текст : непосредственный.Рамбиди Н.Г. Физические и химические основы нанотехнологий / Н. Г. Рамбиди, А. В. Березкин, 2008. - 454 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыЗаказ фрагмента документа ₽