• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Щагин, Анатолий Васильевич. Основы автоматизации технологических процессов : учебник для спо / А. В. Щагин, В. И. Демкин, В. Ю. Кононов, А. Б. Кабанова. - Москва : Юрайт, 2026. - 141 с. - (Профессиональное образование). - URL: https://urait.ru/bcode/582550 (дата обращения: 03.04.2026) . - Режим доступа: Электронно-библиотечная система «Юрайт» , требуется авторизация. - ISBN 978-5-534-21707-0. - Текст : электронный.
    УДК
    658.012.011.56:658.512
    ББК
    32.965я73

    Аннотация: Пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей, используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерс
    Доп. точки доступа:
    Демкин, Василий Иванович
    Кононов, Владислав Юрьевич
    Кабанова, Алла Борисовна

    https://urait.ru/bcode/582550


    Держатели документа:
    Образовательная платформа «Юрайт» : 111123, г. Москва, ул. Плеханова, д.4А, комната 15 (Шифр в БД-источнике (URITE): RU/URAIT/582550)

    Шифр в сводном ЭК: 6e044672a434987c1797a8e2a03dcb44



    Просмотр издания Электронно-библиотечная система «Юрайт» , требуется авторизация