Полное описание
Тихонова, Елена Дмитриевна .
ГРНТИ УДК 47.13.17 621.3.049.77-047.84:776(043) 47.13.33 621.3.049.771.14-047.84(043)
Рубрики: Фотолитография
Интегральные схемы большие -- Производство
Кл.слова (ненормированные): ЛИТОГРАФИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ УСТРОЙСТВА -- ФОТОРЕЗИСТОРЫ -- ЭНЕРГОЭФФЕКТИВНОСТЬ
Доп. точки доступа: Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (Москва)
Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет). Физтех-школа электроники, фотоники и молекулярной физики. Кафедра микро- и наноэлектроники
Держатели документа: Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар25-6956)
Шифр в сводном ЭК: f759e141daef198e285dfbdc4ee9b957
Бокарев В.П. Поверхность и физико-химические свойства кристаллов / В. П. Бокарев, 2018. - 146 с. - Текст : непосредственный. Горнев Е.С. Физические основы работы полупроводниковых электронных приборов : учебное пособие / Е. С. Горнев, Н. И. Плотникова, Ю. И. Плотников, 2019. - 132 с. - Текст : непосредственный. Дашков Е.В. Введение в математическую логику. Множества и отношения : учебное пособие / Е. В. Дашков, 2019. - 156 с. - Текст : непосредственный. Шумский С.А. Машинный интеллект : очерки по теории машинного обучения и искусственного интеллекта / С. А. Шумский, 2019. - 239 с. - Текст : непосредственный. Труды Московского физико-технического института (государственного университета) : научно-технический журнал / Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет). - Журнал выходит с 2009г. - Текст : непосредственный. Уланов А.Е. Преобразование оптических кубитов между дискретными и непрерывными степенями свободы : специальность 01.04.21 - Лазерная физика: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / А. Е. Уланов, 2018. - 31 с. - Текст : непосредственный. Иванов М.Г. Размерность и подобие : учебно-методическое пособие / М. Г. Иванов, 2019. - 151 с. - Текст : непосредственный. Кудров М.А. Интерактивные вычислительные программы для демонстрации динамики нелинейных систем : учебное пособие / М. А. Кудров, А. В. Фёдоров, 2019. - 55 с. - Текст : непосредственный. Пухов А.А. Лекции по статистической физике : учебное пособие / А. А. Пухов, 2019. - 240 с. - Текст : непосредственный. Панов А.И. Введение в методы машинного обучения с подкреплением : учебное пособие / А. И. Панов, 2019. - 51 с. - Текст : непосредственный. Рубцов А.А. Заметки и задачи о регулярных языках и конечных автоматах : учебное пособие / А. А. Рубцов, 2019. - 110 с. - Текст : непосредственный. Электронная техника : научно-технический журнал. Сер.3, Микроэлектроника / Научно-исследовательский институт молекулярной электроники. - Монографическая серия выходит с 1965г. - Текст : непосредственный. Всероссийские олимпиады по физике, 2005-2017 / Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), 2019. - 173 с. - Текст : непосредственный. Амосов Г.Г. Лекции по математическим основаниям квантовой механики : учебное пособие / Г. Г. Амосов, 2019. - 90 с. - Текст : непосредственный. Зайцев Р.О. Диаграммные методы в статистической физике : учебное пособие / Р. О. Зайцев, 2019. - 235 с. - Текст : непосредственный. Кузнецов Н.А. Моделирование сетей и систем связи : учебное пособие / Н. А. Кузнецов, С. Н. Степанов, М. С. Степанов, 2019. - 270 с. - Текст : непосредственный. Дуплинский А.В. Квантовое распределение ключа с высокочастотным поляризационным кодированием : специальность 01.04.21 - "Лазерная физика": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / А. В. Дуплинский, 2019. - 22 с. - Текст : непосредственный. Гутенева Н.В. Разработка методов иммунохроматографической детекции малых молекул с использованием магнитных наномаркеров : 03.01.02 - Биофизика: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Н. В. Гутенева, 2019. - 24 с. - Текст : непосредственный. Кудинова М.В. Математическая модель восстановления дерева процессов при живой миграции контейнеров : 05.13.18 - Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / М. В. Кудинова, 2019. - 24 с. - Текст : непосредственный. Упражнения и задачи контрольных работ по вычислительной математике : учебное пособие : в двух частях / Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет) ; под редакцией В. В. Демченко. Ч. 2 / А. В. Барабанщиков, Т. М. Гамилов, В. В. Демченко [и др.], 2019. - 235 с. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Frey H. Ionenstrahlgestutzte Halbleitertechnologie / H. Frey, 1992. - 131 S. - Текст : непосредственный. Поляхов М.Ю. Разработка способа, аппаратных и программных средств контроля электропроводимости и качества металлизации отверстий печатных плат : специальность 05.11.01 "Приборы и методы измерения (по видам измерений) ", 05.11.13 "Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / М. Ю. Поляхов, 2001. - 22 с. - Текст : непосредственный. Зятьков И.И. Моделирование технологических процессов формирования полупроводниковых структур / И. И. Зятьков, Е. П. Юрченко, 1994. - 6 c. - Текст : непосредственный. Кривошеева А.Н. Процессы жидкостного химического травления в технологии микросистем. Жидкостное химическое травление полупроводниковых материалов : выставочные материалы / А. Н. Кривошеева, В. В. Лучинин, 2012. - 118 с. - Текст : непосредственный. Савровский Д.С. Метод статистической оптимизации технологических операций и процессов / Д. С. Савровский, Д. С. Савровский, А. Л. Лосицкая, Р. М.-Ф. Салихджанова, С. И. Чудаков, 1994. - 56 c. - Текст : непосредственный. IEEE Transactions Circuits Systems / IEEE. - Журнал. - Текст : непосредственный. Кольцов Ю.И. Физико-химические исследования фоточувствительных резистных систем высокого разрешения : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра хим.наук / Ю. И. Кольцов, 1994. - 53 с. - Текст : непосредственный. Трунин Д.А. Физико-технические основы систем переноса изображения на эффекте обращения волнового фронта для микроэлектронной технологии : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / Д. А. Трунин, 2003. - 22 с. - Текст : непосредственный. Смирнова Н.А. Разработка технологии изготовления подложек CdZnTe для выращивания гетероструктур CdHgTe/CdZnTe методом жидкофазной эпитаксии : специальность 05.17.01 "Технология неорганических веществ" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. А. Смирнова, 2007. - 24 с. - Текст : непосредственный. Монтаж на поверхность : монография / В. Н. Григорьев, А. П. Гриненко, А. А. Казаков ; Ред. И. О. Шурчков, 1993. - 59 c. - Текст : непосредственный. Wissenschaftliche Berichte / FZKA. 7215 : Hochauflosende Rontgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit grossem Aspektverhaltnis : Diss. / T.Mappes, S.Achenbach, J.Mohr, 2006. - IV, 71 S. - Текст : непосредственный. Молодечкина Т.В. Формирование легированных оксидов титана термолизом алкоксисоединений для компонентов электронной техники / Т. В. Молодечкина, 2004. - 21 с. - Текст : непосредственный. Рахматуллаев Х.Б. Процессы двухэлектронной локализации и делокализации на примесных атомах олова в узкозонных полупроводниках : специальность 01.04.10 "Физика полупроводников" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ.-мат.наук / Х. Б. Рахматуллаев, 1991. - 15 с. - Текст : непосредственный. Кузнецов Г.Д. Ионно-плазменная обработка материалов : учебное пособие / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, 2008. - 179 с. - Текст : непосредственный. IEEE Transactions Components,Packaging Manufacturing Technology. Part B, Advanced Packaging / Institute of Electrical and Electronics Engineers (New York,NY), Institute of Electrical and Electronics Engineers (New York,NY). - Журнал выходит с 1987г. - Текст : непосредственный. Смирнов В.А. Разработка и исследование технологических основ процесса фотонностимулированного локального анодного окисления наноструктур на основе Si/SiO2/Ii : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / В. А. Смирнов, 2008. - 23 с. - Текст : непосредственный. Пархутик В.П. Плазменное анодирование : монография / В. П. Пархутик, В. А. Лабунов, 1990. - 280 c. - Текст : непосредственный. Бордусов С.В. Процессы и устройства СВЧ плазмохимиче ского удаления материалов при формировании изделий электронной техники : специальность 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / С. В. Бордусов, 2003. - 41 с. - Текст : непосредственный. Шипатов Э.Т. Ионно-лучевая модификация свойств металлов, сверхпроводников и пленок ферритов-гранатов : учебное пособие / Э. Т. Шипатов, 2007. - 111 с. - Текст : непосредственный. Технология многослойных печатных плат / А. А. Федулова, Ю. А. Устинов, Е. П. Котов, 1990. - 209 c. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Моро У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. Ч. 1Ч.1 / У. Моро, 1990. - 606 с. - Текст : непосредственный. Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Лицевая сторона карточки Обратная сторона карточки
Боровцов П.В. Литографические процессы в микроэлектронике : Учеб.пособие / П.В.Боровцов, 1995. - 58 c. - Текст : непосредственный. Баканов Г.Ф. Фотолитография : Учеб. пособие для студентов вузов, обучающихся по направлению 654300 "Проектирование и технология электронных средств" / Г.Ф.Баканов,Г.В.Петрова, 2002. - 35 с. - Текст : непосредственный. Rogers J. A. Unconventional nanopatterning techniques and applications / J. A. Rogers, H. H. Lee, 2008 r=on-line. - Текст : электронный. Ануфриенко В.В. Процессы и оборудование фотолитографической обработки : Учеб.пособие по курсу "Технол.процессы и оборудование микроэлектроники" / В.В.Ануфриенко, 1998. - 66 с. - Текст : непосредственный. Валиев К.А. Физика субмикронной литографии / К.А.Валиев, 1990. - 528 c. - Текст : непосредственный. Nd laser fifth harmonic interaction with polymer films / A.A.Babin,N.M.Bityurin,A.V.Polyakov и др., 1992. - 18 p. - Текст : непосредственный. Лыньков Л.М. Субмикронная литография / Л.М.Лыньков,С.Л.Прищепа, 1999. - 205 с. - Текст : непосредственный. Chung S.-J. Strukturprofilsimulation dicker Schichten in der optischen Lithographie mit DNQ-Novolak-basierenden Photoresists / S.-J.Chung,H.Hein,J.Schulz, 1998. - 94 S. - Текст : непосредственный. Ивин В.В. Использование математического моделирования в исследовании, разработке и оптимизации фотолитографических процессов / В.В.Ивин,Т.М.Махвиладзе, 2000. - 30 c. - Текст : непосредственный. Моро, У. Микролитография. Принципы, методы, материалы : В 2-х ч. Ч. 2, 1990. - С.613-1239. - Текст : непосредственный. Технология и оборудование полиграфического производства. Фототехнология в полиграфии и электронике : Межвед. сб. науч. тр. / РСФСР. Гос. ком. по делам науки и высшей школы, 1991. - 113 с. - Текст : непосредственный. Масленицын С.Ф. Термическая активация процесса травления полимера при прямом рисовании лазерным лучом / С.Ф.Масленицын,В.Б.Световой, 1990. - 32 с. - Текст : непосредственный. Brauch I.H. Wissenbasierte Modellierung des LIGA-Fertigungsprozesses : Diss. / I.H.Brauch, 1994. - 89 S. - Текст : непосредственный. Показать все результаты Заказать
Заказ фрагмента документа ₽
Приложение
для Android
