Приложение
для AndroidПолное описание
Гайдукасов, Рафаэль Алексеевич. Характеризация наноструктурированных материалов микроэлектроники методами спектральной эллипсометрии и рефлектометрии : научная специальность: 2.2.2. "Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств": автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук / Гайдукасов Рафаэль Алексеевич ; Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" - базовая организация кафедры наноэлектроники и квантовых компьютеров Физтех-школы электроники, фотоники и молекулярной физики Московского физико-технического института (национального исследовательского университета). - Москва, 2025. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-21. - 30 экз. - Текст : непосредственный.
| ГРНТИ | УДК | |
| 81.09.30 | 620.22-022.532:620.1(043) | |
| 90.27.37 | 681.785.35(043) |
Рубрики:
Наноструктурные материалы -- Методы исследования
Эллипсометрия
Кл.слова (ненормированные): ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- НАНОПОРИСТЫЕ ДИЭЛЕКТРИКИ -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- ОПТОЭЛЕКТРОНИКА
Доп. точки доступа:
Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет). Физтех-школа электроники, фотоники и молекулярной физики
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар25-6705)
Шифр в сводном ЭК: bdd6852db4a99edf5f7dcbebd1eac08c
Горнев Е.С. Физические основы работы полупроводниковых электронных приборов : учебное пособие / Е. С. Горнев, Н. И. Плотникова, Ю. И. Плотников, 2019. - 132 с. - Текст : непосредственный.Дашков Е.В. Введение в математическую логику. Множества и отношения : учебное пособие / Е. В. Дашков, 2019. - 156 с. - Текст : непосредственный.Шумский С.А. Машинный интеллект : очерки по теории машинного обучения и искусственного интеллекта / С. А. Шумский, 2019. - 239 с. - Текст : непосредственный.Труды Московского физико-технического института (государственного университета) : научно-технический журнал / Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет). - Журнал выходит с 2009г. - Текст : непосредственный.Уланов А.Е. Преобразование оптических кубитов между дискретными и непрерывными степенями свободы : специальность 01.04.21 - Лазерная физика: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / А. Е. Уланов, 2018. - 31 с. - Текст : непосредственный.Иванов М.Г. Размерность и подобие : учебно-методическое пособие / М. Г. Иванов, 2019. - 151 с. - Текст : непосредственный.Кудров М.А. Интерактивные вычислительные программы для демонстрации динамики нелинейных систем : учебное пособие / М. А. Кудров, А. В. Фёдоров, 2019. - 55 с. - Текст : непосредственный.Пухов А.А. Лекции по статистической физике : учебное пособие / А. А. Пухов, 2019. - 240 с. - Текст : непосредственный.Панов А.И. Введение в методы машинного обучения с подкреплением : учебное пособие / А. И. Панов, 2019. - 51 с. - Текст : непосредственный.Рубцов А.А. Заметки и задачи о регулярных языках и конечных автоматах : учебное пособие / А. А. Рубцов, 2019. - 110 с. - Текст : непосредственный.Всероссийские олимпиады по физике, 2005-2017 / Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), 2019. - 173 с. - Текст : непосредственный.Амосов Г.Г. Лекции по математическим основаниям квантовой механики : учебное пособие / Г. Г. Амосов, 2019. - 90 с. - Текст : непосредственный.Зайцев Р.О. Диаграммные методы в статистической физике : учебное пособие / Р. О. Зайцев, 2019. - 235 с. - Текст : непосредственный.Кузнецов Н.А. Моделирование сетей и систем связи : учебное пособие / Н. А. Кузнецов, С. Н. Степанов, М. С. Степанов, 2019. - 270 с. - Текст : непосредственный.Дуплинский А.В. Квантовое распределение ключа с высокочастотным поляризационным кодированием : специальность 01.04.21 - "Лазерная физика": автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / А. В. Дуплинский, 2019. - 22 с. - Текст : непосредственный.Гутенева Н.В. Разработка методов иммунохроматографической детекции малых молекул с использованием магнитных наномаркеров : 03.01.02 - Биофизика: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Н. В. Гутенева, 2019. - 24 с. - Текст : непосредственный.Кудинова М.В. Математическая модель восстановления дерева процессов при живой миграции контейнеров : 05.13.18 - Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / М. В. Кудинова, 2019. - 24 с. - Текст : непосредственный.Упражнения и задачи контрольных работ по вычислительной математике : учебное пособие : в двух частях / Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет) ; под редакцией В. В. Демченко. Ч. 2 / А. В. Барабанщиков, Т. М. Гамилов, В. В. Демченко [и др.], 2019. - 235 с. - Текст : непосредственный.Костина О.А. Раскраски и разбиения множеств на сферах : 01.01.09 - дискретная математика и математическая кибернетика: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / О. А. Костина, 2019. - 17 с. - Текст : непосредственный.Аунг Мьят Хеин.Гибридная плазма газовых смесей как инструмент комбинированного воздействия на полимерные материалы с целью повышения их биосовместимости : специальность 01.04.08 - Физика плазмы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Аунг Мьят Хеин, 2019. - 21 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыСарвин А.А. Оптические и оптоэлектронные методы бесконтактных измерений геометрических параметров : специальность 05.02.11 "Методы контроля и диагностика в машиностроении" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. А. Сарвин, 2002. - 42 с. - Текст : непосредственный.Suda M. Quantum interferometry in phase space / M. Suda, 2006 r=on-line. - Текст : электронный.Nanoalloys. Synthesis, structure and properties / Ed. D. Alloyeau, 2012 r=on-line. - Текст : электронный.Шелохвостов В.П. Методы и системы диагностики наномодифицированных конденсированных сред / В. П. Шелохвостов, В. Н. Чернышев, 2013. - 143 с. - Текст : непосредственный.Шевердяев О.Н. Нанотехнология и наноматериалы : выставочные материалы / О. Н. Шевердяев, И. М. Ибрагимов, 2012. - 122 с. - Текст : непосредственный.Свиташева С.Н. Эллипсометрия шероховатых поверхностей : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. Н. Свиташева, 2009. - 29 с. - Текст : непосредственный.Антипов А.А. Лазерные методы получения и осаждения коллоидных систем на поверхность твердых тел / А. А. Антипов, 2013. - 20 с. - Текст : непосредственный.Materials science forum. Vol. 670 : Applied electromagnetic engineering : sel., peer rev. papers from the 6th Japanese-Mediterranean workshop on appl. electromagnetic eng. for magnetic, superconducting and nano materials, org. in Bucharest, Romania in Jul. 27-29 2009 / Japanese-Mediterranean workshop on applied electromagnetic engineering for magnetic superconducting and nano materials (6th; 2009; Bucharest), 2011. - XII, 553 p. - Текст : непосредственный.Нанотехнологии и наноматериалы : материалы временных коллективов, 2012. - 277 с. - Текст : непосредственный.Крекотень А.В. Физико-химическое изучение нанокомпозитных материалов, получаемых темплатно методом управляемого золь-гель синтеза / А. В. Крекотень, 2013. - 19 с. - Текст : непосредственный.Biomicrofluidics. - Журнал выходит с 2007г. r=on-line. - Текст : электронный.Краснопевцев Е.А. Панорамная интерферометрия объектов круговой цилиндрической формы : специальность 05.11.07 "Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / Е. А. Краснопевцев, 2006. - 37 с. - Текст : непосредственный.Наносистеми, наноматерiали, нанотехнологii : збiрник наук. праць / Iнститут металофiзики iм. Г. В. Курдюмова (Киiв) ; ed. А. П. Шпак. Т. 8Вип. 1, 2010. - XII, 222 c. - Текст : непосредственный.Наносистеми, наноматерiали, нанотехнологii : збiрник наук. праць / Iнститут металофiзики iм. Г. В. Курдюмова (Киiв) ; ed. А. П. Шпак. Т. 8Вип. 2, 2010. - XII, 223-482 с. - Текст : непосредственный.Hess O. Photonics of quantum-dot nanomaterials and devices. Theory and modelling / O. Hess, E. Gehrig, 2012. - X, 171 p. - Текст : непосредственный.In-process optical measurements : материалы временных коллективов / Ed. K. H. Spring, 1989. - VIII,241 p. p. - Текст : непосредственный.Ильин В.Н. Оптико-электронные методы и приборы прецизионного контроля геометрических и оптических параметров технических микрообъектов : специальность 05.11.07 "Оптические и оптико-электронные приборы и комплексы" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / В. Н. Ильин, 2003. - 45 с. - Текст : непосредственный.Белозеров А.Ф. Оптические методы и средства контроля параметров неоднородных прозрачных сред с большим размеров рабочего поля : специальность 05.11.13 "Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий" : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. Ф. Белозеров, 2003. - 35 с. - Текст : непосредственный.Осипов Н.И. Разработка и исследование оптико-электронных измерительных устройств на основе многоэлементного фотоприемника мультискана : специальность 05.11.13 "Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. И. Осипов, 2003. - 20 с. - Текст : непосредственный.Андриевский Р.А. Наноматериалы на металлической основе в экстремальных условиях : выставочные материалы / Р. А. Андриевский, 2016. - 102 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыКирьянов А.П. Голоэллипсометрия in situ : монография / А. П. Кирьянов, 2003. - 219 с. - Текст : непосредственный.Макеев М.О. Применение инфракрасной спектроскопической эллипсометрии в наноинженерии / М. О. Макеев, С. А. Мешков, Ю. А. Иванов, 2018. - 140, [1] с. - Текст : непосредственный.Zhan Q. Measuring unresolved surface features using imaging ellipsometric polarization signatures / Q.Zhan,J.R.Leger, 2002. - 3 p. - Текст : непосредственный.Zhan Q. Measurement of surface features beyong the diffraction limit using an imaging ellipsometer / Q.Zhan,R.Leger, 2002. - 13 p. - Текст : непосредственный.Zhan Q. Imaging ellipsometry high-spatial-resolution metrology / Q.Zhan,R.Leger, 2002. - 12 p. - Текст : непосредственный.Эллипсометрия в науке и технике : Сб. ст. / АН СССР. Ин-т физики полупроводников. Вып. 2 / ред. К. К. Свиташев, 1990. - 189 с. - Текст : непосредственный.Асалханов Ю.И. Эллипсометрия субмонослойных покрытий и приповерхностный слой твердых тел / Ю.И.Асалханов, 1998. - 208 с. - Текст : непосредственный.Эллипсометрия. Теория, методы, приложения : Сб. науч. тр. / АН СССР.Сиб.отд-ние.Ин-т физики полупроводников, 1991. - 252 с. - Текст : непосредственный.Горшков М.М. Эллипсометрия / М. М. Горшков, 1974. - 200 с. - Текст : непосредственный.Калмыков Ш.А. Оптика тонкопленочных систем : Конспект лекций / Ш.А.Калмыков, 1997. - 57 с. - Текст : непосредственный.Гайдукасов, Рафаэль Алексеевич. Характеризация наноструктурированных материалов микроэлектроники методами спектральной эллипсометрии и рефлектометрии : научная специальность: 2.2.2. "Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств": автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук / Гайдукасов Рафаэль Алексеевич, 2025. - 21 с. - Текст : непосредственный.
Свиташева С.Н. Эллипсометрия шероховатых поверхностей : специальность 01.04.07 "Физика конденсированного состояния" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат. наук / С. Н. Свиташева, 2009. - 29 с. - Текст : непосредственный.Хасанов Т. Поляриметрия и эллипсометрия в исследовании поляризующих оптических систем : специальность 01.04.05 "Оптика" : диссертация на соискание ученой степени д-ра физ.-мат. наук / Т. Хасанов, 2010. - 31 с. - Текст : непосредственный.
Федоринин В.Н. Исследование и разработка спектральных эллипсометров : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.11.07 / В. Н. Федоринин, 1992. - 23 с. - Текст : непосредственный.Косырев Н.Н. Магнитооптический эллипсометрический комплекс для получения и исследования наноструктур в установке молекулярно-лучевой эпитаксии : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 01.04.01 / Н. Н. Косырев, 2008. - 16 с. - Текст : непосредственный.Грязев А.С. Исследование характеристик рассеяния электронов в твердых телах для определения толщин нанопокрытий методами электронной спектроскопии : автореф. дис. .. канд. физ.-мат. наук: 05.27.01 / А. С. Грязев, 2017. - 23 с. - Текст : непосредственный.Ковалев В.И. Методы и приборы лазерной и спектральной эллипсометрии с бинарной модуляцией состояния поляризации : автореф. дис. .. д-ра техн. наук: 01.04.01 / В. И. Ковалев, 2011. - 33 с. - Текст : непосредственный.Кирьянов А.П. Холоэллипсометрия in situ слоистых структур: основы, методы и средства : автореф. дис. .. д-ра физ.-мат. наук: 01.04.01 / А. П. Кирьянов, 2007. - 31 с. - Текст : непосредственный.Спесивцев Е.В. Исследование и разработка лазерных сканирующих эллипсометров высокого пространственного разрешения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.11.07 / Е. В. Спесивцев, 2001. - 23 с. - Текст : непосредственный.Friedl A. Aufbau eines in-situ-IR-Spektralellipsometers zur Charakterisierung plasmadeponierter C:H-Schichten : Diss. / A.Friedl, 1994. - 91 S. - Текст : непосредственный.Ковалев, Владимир Витальевич. Светодиодный эллипсометр со статичной схемой измерения оптических констант и толщин тонких пленок : 05.11.16 - Информационно-измерительные и управляющие системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Ковалев Владимир Витальевич, 2020. - 23 с. - Текст : непосредственный.Гайдукасов, Рафаэль Алексеевич. Характеризация наноструктурированных материалов микроэлектроники методами спектральной эллипсометрии и рефлектометрии : научная специальность: 2.2.2. "Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств": автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук / Гайдукасов Рафаэль Алексеевич, 2025. - 21 с. - Текст : непосредственный.
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
| Лицевая сторона карточки | Обратная сторона карточки |
 |  |
Заказ фрагмента документа ₽