• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Бокарев, Валерий Павлович. Физическая химия поверхности материалов микро- и наноэлектроники : учебное пособие / В. П. Бокарев ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), НИИ молекулярной электроники (НИИМЭ). - Москва : МФТИ, Физтех, 2025. - 157 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 147-157 (212 назв.). - 30 экз. - ISBN 978-5-7417-0849-1. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    31.15.35539.211
    544.227

    Рубрики:
    Твердые тела -- Поверхностные явления
    Кристаллы -- Физико-химические свойства

    Кл.слова (ненормированные): ВНУТРЕННЯЯ ЭНЕРГИЯ -- ДЕФОРМИРОВАНИЕ -- КРИСТАЛЛОГРАФИЯ -- МОНОКРИСТАЛЛЫ -- ПОВЕРХНОСТНАЯ ЭНЕРГИЯ ТВЕРДЫХ ТЕЛ -- ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ -- РЕШЕТОЧНЫЕ МОДЕЛИ
    Аннотация: Рассматриваются основные физико-химические свойства поверхности кристаллических материалов и их связь с главной энергетической характеристикой поверхности - удельной поверхностной энергией. Пособие основано на одноименном курсе лекций, читаемом автором на кафедре микро- и наноэлектроники МФТИ для студентов 4 курса, и дополняет ранее опубликованную монографию автора "Поверхность и физико-химические свойства кристаллов": МФТИ, 2018 г. Изложена зависимость основных физико-химических свойства макро-, микро- и нанокристаллов от симметрии их кристаллической структуры и анизотропии удельной поверхностной энергии. Излагается статическая модель координационного плавления кристалла и её применение в технологии микро- и наноэлектроники при расчётах анизотропии физико-химических свойств поверхности. Модель проиллюстрирована результатами численных расчётов и их сопоставлением с экспериментальными данными и другими модельными расчётами. Учебное пособие подготовлено на базовой кафедре "Микро- и наноэлектроники" Московского физико-технического института (национального исследовательского университета) (МФТИ, Физтех) и в Научно-исследовательском институте молекулярной электроники (АО "НИИМЭ") г. Зеленоград, г. Москва и соответствует читаемому автором курсу лекций. Предназначено для научных работников и специалистов, занимающихся физикой и химией твёрдого тела, а также для аспирантов и студентов соответствующих специальностей.
    Доп. точки доступа:
    Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)
    Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (Москва)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-25/39565)

    Шифр в сводном ЭК: 27edf5dc9681c7a3c71ad202dedabd65



    Заказ фрагмента документа ₽