Приложение
для AndroidПолное описание
| ГРНТИ | УДК | |
| 55.22.19 | 621.793.184.06 |
Рубрики:
Магнетронные распылительные системы
Кл.слова (ненормированные): ИНЕРТНАЯ СРЕДА -- МАГНЕТРОНЫ -- МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ -- РАБОЧИЙ ПРОЦЕСС -- РЕАКТИВНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ТЕПЛОВЫЕ РАСЧЕТЫ
Аннотация: Изложены результаты теоретических и экспериментальных исследований авторов, посвященных изучению тепловых процессов на мишени и подложке при магнетронном распылении. Внимание уделено особенностям распыления металлических мишеней в инертной и реактивной средах, численному моделированию реактивного распыления, численному моделированию тепловых процессов и обсуждению экспериментальных результатов. Издание предназначено научным работникам и инженерам, чья работа связана с осаждением пленок, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.
Доп. точки доступа:
Шарковский, Даниил Сергеевич
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-24/38141)
Шифр в сводном ЭК: 2093aaf4cbb9234908eadfdd10d0bb41
Козин, Александр Андреевич. Технология перспективных материалов : учебно-методическое пособие / А. А. Козин, В. И. Шаповалов, 2019. - 99 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Пленки нитридов / А. А. Козин, А. В. Кочин, А. В. Рудаков [и др.]; под редакцией В. И. Шаповалова, 2020. - 269 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Карпов, Дмитрий Алексеевич. Плазменные технологии для модификации поверхности, синтеза наноматериалов и использования в водородной энергетике / Д. А. Карпов, В. Н. Литуновский; под редакцией В. И. Шаповалова, 2020. - 394 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Шаповалов, Виктор Иванович. Тепловые процессы при магнетронном распылении / В. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский, 2024. - 139 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Теория и практика многокритериальной оценки и выбора решений по методу расстояния до цели : монография / С. Ф. Вольвак, В. И. Шаповалов, A. Г. Пастухов [и др.], 2025. - 184 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.
Горячев А.В. Эволюционные методы анализа и синтеза проектных решений / А. В. Горячев, Н. Е. Новакова, 2016. - 159 с. - Текст : непосредственный.Бруслиновский Б.В. Нелинейные системы управления : учебное пособие / Б. В. Бруслиновский, Н. А. Доброскок, А. В. Морозов, 2017. - 88 с. - Текст : непосредственный.Горелая А.В. Физические основы получения информации оптическими методами : учебное пособие / А. В. Горелая, Ю. В. Филатов, 2016. - 60 с. - Текст : непосредственный.Чурганова С.С. Оптика и атомная физика : учебное пособие / С. С. Чурганова, И. А. Черемухина, 2017. - 56 с. - Текст : непосредственный.Иванов С.Г. Лекции по линейной алгебре и геометрии : учебное пособие / С. Г. Иванов, Е. А. Толкачева, А. В. Чирина, 2017. - 32 с. - Текст : непосредственный.Виолина Г.Н. Физика полупроводников / Г. Н. Виолина, В. И. Зубков, 2017. - 106 с. - Текст : непосредственный.Нисковский А.В. Проектирование и администрирование сетей : учебное пособие / А. В. Нисковский, А. А. Андреева, 2016. - 54 с. - Текст : непосредственный.Лавренко Ю.Е. История радиотехники : учебное пособие / Ю. Е. Лавренко, М. Т. Иванов, 2017. - 111 с. - Текст : непосредственный.Статистическая теория радиотехнических и телекоммуникационных систем : учебное пособие : [в 3 ч.] / Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" имени В. И. Ульянова (Ленина). Ч. 2 / О. М. Андреева [и др.], 2017. - 234 с. - Текст : непосредственный.Жукова Т.Н. Управление проектами в условиях неопределенности : учебное пособие / Т. Н. Жукова, 2017. - 51 с. - Текст : непосредственный.Воробьев С.В. Основные понятия, положения и уравнения механики твердого деформированного тела : учебное пособие / С. В. Воробьев, О. П. Кормилицын, 2018. - 31, [1] с. - Текст : непосредственный.Типовые расчеты по различным разделам высшей математики : учебное пособие / А. Л. Белопольский, Н. Г. Гоголева, С. А. Колбина [и др.], 2018. - 78, [1] с. - Текст : непосредственный.Абрамова М.Н. Интегральное исчисление функции одной переменной : учебное пособие / М. Н. Абрамова, В. Г. Казакевич, Е. А. Толкачева, 2017. - 31 с. - Текст : непосредственный.Воронова А.А. Применение программной среды LabVIEW для моделирования процессов в сетевых технологиях : учебное пособие / А. А. Воронова, А. В. Воронов, И. Р. Кузнецов, 2018. - 61 с. - Текст : непосредственный.Воробьев Е.Г. Планирование защиты и контроля безопасности информации в компании в терминах, таблицах и рисунках : учебное пособие / Е. Г. Воробьев, А. К. Племянников, В. Н. Сабынин, 2017. - 36 с. - Текст : непосредственный.Копыльцов А.А. Модели и алгоритмы слабоформализованных объектов и процессов / А. А. Копыльцов, А. В. Копыльцов, 2016. - 162 с. - Текст : непосредственный.Антенны и распространение радиоволн : учебное пособие / В. С. Алексеев, С. В. Балландович, С. В. Грачев [и др.], 2018. - 107 с. - Текст : непосредственный.Бугров А.Н. Полимер-неорганические материалы биомедицинского назначения. Особенности формирования, структура и свойства : учебное пособие / А. Н. Бугров, А. И. Шуклина, 2017. - 51 с. - Текст : непосредственный.Илюшов Г.С. Модели пассивных компонентов в среде схемотехнического проектирования Micro-Cap 9 : учебное пособие / Г. С. Илюшов, 2017. - 55 с. - Текст : непосредственный.Виртуальное символьное проектирование параметризованных фрагментов КМОП БИС / И. С. Зуев, С. Э. Миронов, Н. М. Сафьянников, А. Б. Максимов, 2016. - 1 o=электрон. опт. диск (CD-ROM). - Текст : электронный.
Показать все результатыНю Липин.Технологическое обеспечение работоспособности машиностроительных деталей с плазменно нанесенными покрытиями на базе снижения уровня остаточных напряжений : специальность 05.02.08 "Технология машиностроения ", 05.03.06 "" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / Ню Липин, 2005. - 16 с. - Текст : непосредственный.Новое в технологии функциональных гальванических покрытий : материалы временных коллективов / Ленинградский дом науч.-технической пропаганды, 1990. - 82 с. - Текст : непосредственный.Исследования в области осаждения металлов : сборник / Институт химии и хим. технологии (Вильнюс), 1989. - 137 c. - Текст : непосредственный.Шатунова В.И. Газотермическое нанесение износостойких покрытий на изделия : разговорник / В. И. Шатунова, 1989. - 44 c. - Текст : непосредственный.Мясников И.С. Источники питания для интенсивных плазменных технологий и повышение их экологической безопасности : специальность 11.00.11 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / И. С. Мясников, 2000. - 30 с. - Текст : непосредственный.Поздеева Н.А. Изучение коррозионно-электрохимического поведения алюминия, легированного цинком и оловом, для использования в качестве протектора стали : специальность 05.17.14 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / Н. А. Поздеева, 2000. - 22 с. - Текст : непосредственный.Прошин Д.И. Управление автоматизированным технологическим процессом нанесения гальванических покрытий металлами : специальность 05.13.07 "" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук / Д. И. Прошин, 2000. - 19 с. - Текст : непосредственный.Электроосаждение металлов и сплавов из водных растворов комплексных соединений / Н. Б. Березин, Н. В. Гудин, А. Г. Филиппова [и др.], 2006. - 274 с. - Текст : непосредственный.Обзоры по электронной технике / ЦНИИ "Электроника". Вып. 1(1657) : Технологическое оборудование для плазменного напыления : По даннным отеч. и зарубеж. печати за 1967-1991 гг. / В.Н.Лясников,В.М.Райгородский, 1992. - 55 с. - Текст : непосредственный.Колесникова Е.А. Температурное условие адгезии и определение температурных полей в системе "капля - подложка" / Е. А. Колесникова, 2014. - 19 с. - Текст : непосредственный.Рудаков В.И. Антикоррозионные покрытия на конструкционных сталях / В. И. Рудаков, Л. Л. Ильичев, И. Н. Максимов, 2008. - 441 с. - Текст : непосредственный.Покрытия и обработка поверхности : материалы временных коллективов / Российское хим. о-во им. Д. И. Менделеева (Санкт-Петербург), 2013. - 134 с. - Текст : непосредственный.Шевырев А.А. Композиционные электролитические покрытия на основе редких и цветных металлов : специальность 05.16.02 "Металлургия черных,цветных и редких металлов" : диссертация на соискание ученой степени д-ра техн. наук / А. А. Шевырев, 2011. - 41 с. - Текст : непосредственный.Будилов В.В. Физические основы вакуумно-плазменной технологии нанесения покрытий / В. В. Будилов, 1993. - 74 c. - Текст : непосредственный.Власов В.М. Работоспособность высокопрочных термодиффузионных покрытий в узлах трения машин / В. М. Власов, Л. М. Нечаев, 1994. - 238 c. - Текст : непосредственный.Рябинкин А.Н. Динамика микрочастиц в плазменно-пылевых ловушках / А. Н. Рябинкин, 2011. - 21 с. - Текст : непосредственный.Гальванотехника и обработка поверхности: Electroplating & Surface treatment : журнал / Российский химико-технологический университет им. Д. И. Менделеева. - Журнал выходит с 1992г. - Текст : непосредственный.Крашенинников С.В. Исследование особенностей формирования и свойств интерметаллидных покрытий систем Ti-Cu и Ti-Ni на поверхности стальных деталей : специальность 05.02.01 "" : диссертация на соискание ученой степени канд. техн. наук / С. В. Крашенинников, 2006. - 19 с. - Текст : непосредственный.Мелкова Г.А. Нанесение упрочняющих покрытий на детали машин и инструмента способом химического осаждения из газовой фазы : разговорник / Г. А. Мелкова, 1990. - 25 c. - Текст : непосредственный.Коррозионностойкие газотермические покрытия / Э. Г. Александровский, Н. Ф. Лобанов, Ю. А. Мулин [и др.], 1990. - 44 с. - Текст : непосредственный.
Показать все результатыNeuffer A. Diagnostik und Modellierung einer planaren Magnetron-Sputterquelle / A. Neuffer, 1999. - 113 S. - Текст : непосредственный.Fella R. Herstellung, Aufbau, Eigenschaften und Anwendungsverhalten von metastabilen Schichten aus dem System Ti-Si-C-N : Diss. / R.Fella, 1992. - 188 S. - Текст : непосредственный.Hilz G. Zum Einfluss innerer Grenzflachen auf Aufbau und Eigenschaften mehrphasiger Hartstoffschichten : Diss. / G.Hilz, 1992. - 199 S. - Текст : непосредственный.Марахтанов М.К. Магнетронные системы ионного распыления. Основы теории и расчета : Учеб. пособие по курсу "Конструирование и расчет установок ион. распыления" / М.К.Марахтанов;Под ред. С. Д. Гришина, 1990. - 76 c. - Текст : непосредственный.Козин А.А. Магнетрон с горячей мишенью / А. А. Козин, Е. А. Минжулина, В. И. Шаповалов, 2019. - 213 с. - Текст : непосредственный.Шаповалов, Виктор Иванович. Тепловые процессы при магнетронном распылении / В. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский, 2024. - 139 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Черкасов, Александр Алексеевич. Сильноточный импульсный магнетронный разряд с инжекцией электронов из плазмы вакуумной дуги для осаждения покрытий и генерации ионных пучков : специальность 2.2.1 - вакуумная и плазменная электроника: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Черкасов Александр Алексеевич, 2025. - 19 с. - Текст : непосредственный.
Зиганшин Р.Р. Теоретические основы и экспериментальное исследование ионно-плазменных потоков с целью создания комплекса крупногабаритного оборудования для нанесения и испытания покрытий : Автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн. наук: 01.02.05,01.04.14 / Р. Р. Зиганшин, 1998. - 43 с. - Текст : непосредственный.Чумаков С.Н. Ионный имплантер на средние энергии для технологических целей : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 01.04.20 / С. Н. Чумаков, 1999. - 10 с. - Текст : непосредственный.Захаров А.Н. Магнетронные распылительные системы и технологии нанесения энергосберегающих покрытий на архитектурные стекла и полимерные пленки : автореф. дис. .. канд. техн. наук: 05.27.02 / А. Н. Захаров, 2011. - 22 с. - Текст : непосредственный.Марахтанов М.К. Магнетронные системы ионного распыления. Основы теории и расчета : Учеб. пособие по курсу "Конструирование и расчет установок ион. распыления" / М.К.Марахтанов;Под ред. С. Д. Гришина, 1990. - 76 c. - Текст : непосредственный.Кострин, Дмитрий Константинович. Ионно-плазменные источники для плазмохимического синтеза функциональных покрытий / Д. К. Кострин, А. А. Лисенков, А. И. Кузьмичев, 2019. - 165 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Труды постоянно действующего научно-технического семинара "Электровакуумная техника и технология" / под редакцией А. В. Горина. Т. 5 / НИИ ЭМ МГТУ им. Н. Э. Баумана [и др.], 2018. - 156 с. - Текст : непосредственный.Шаповалов, Виктор Иванович. Тепловые процессы при магнетронном распылении / В. И. Шаповалов, Д. С. Шарковский, 2024. - 139 с. - Текст (визуальный) : непосредственный.Черкасов, Александр Алексеевич. Сильноточный импульсный магнетронный разряд с инжекцией электронов из плазмы вакуумной дуги для осаждения покрытий и генерации ионных пучков : специальность 2.2.1 - вакуумная и плазменная электроника: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Черкасов Александр Алексеевич, 2025. - 19 с. - Текст : непосредственный.
Заказ фрагмента документа ₽