• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Вакуумные системы в проектировании, производстве и исследовании материалов электронной техники / В. Г. Косушкин, И. В. Силаев, Л. В. Кожитов [и др.] ; Министерство науки и высшего образования РФ, Северо-Осетинский государственный университет имени К. Л. Хетагурова [и др.]. - Владикавказ : СОГУ им. К. Л. Хетагурова, 2024. - 627 с. : ил. - Библиогр.: с. 625-627 (34 назв.). - 500 экз. - ISBN 978-5-00081-678-3. - Текст (визуальный) : непосредственный.
    ГРНТИ УДК
    81.29.14621.52-047.56
    47.13.09621.385.032.1-047.56
    47.09621.385-03

    Рубрики:
    Вакуумные системы -- Проектирование
    Электровакуумное производство -- Проектирование
    Электровакуумные материалы

    Кл.слова (ненормированные): АГРЕГАТЫ -- ВАКУУМ -- ИЗДЕЛИЯ ЭЛЕКТРОНИКИ -- ИЗМЕРЕНИЯ -- КАМЕРЫ -- МАТЕРИАЛЫ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- ЭЛЕКТРОННЫЕ МИКРОСКОПЫ
    Аннотация: Рассмотрены физические представления и законы, лежащие в основе проектирования и использования вакуумного оборудования в основных технологических процессах современной электроники. Предложена классификация основных элементов вакуумных систем и агрегатов, описана техника измерений вакуума и испытаний вакуумных систем. Рассмотрены методы расчёта вакуумных систем технологического оборудования для выращивания монокристаллов полупроводников, печей для диффузии, установок для газовой и жидкофазной эпитаксии и осаждения плёнок в вакууме. Возможности и требования к вакуумным системам исследовательского оборудования продемонстрированы на примере работы современного растрового электронного микроскопа. Книга предназначена для научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в проектировании вакуумного технологического оборудования и создании технологий производства материалов и компонентов электронной техники, а также для студентов и аспирантов.
    Доп. точки доступа:
    Косушкин, Виктор Григорьевич
    Силаев, Иван Владимирович
    Кожитов, Лев Васильевич
    Супельняк, Станислав Игоревич
    Адарчин, Сергей Александрович
    Северо-Осетинский государственный университет имени К. Л. Хетагурова (Владикавказ)

    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д11-24/32823)

    Шифр в сводном ЭК: f613187dfd8dfe1d92a978cd99f324e4



    Заказ фрагмента документа ₽